[实用新型]新型扩散炉湿氧扩散装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种新型的湿氧扩散工艺方式，通过对产线扩散炉的简单改造，在扩散工艺过程中通入水汽，起到湿氧扩散的目的，属于太阳能光伏技术领域。

背景技术

随着国内光伏市场的扩大，装机量不断增长，对电池片的需求也越来越旺盛，提高产能是目前电池片生产厂家的迫切需求，同时，由于激烈的市场竞争，对于电池片转换效率与质量的要求也在不断提高，新技术的研发应用成为电池片企业在竞争中取得优势的关键。扩散制作PN结技术是晶硅电池片生产的核心技术，如何在较短的时间获得性能优异的PN结是衡量扩散技术优劣的重要指标。传统的扩散工艺大部分采用软着陆的扩散炉进行扩散，产量及扩散效果经过工艺的多次改进已达到瓶颈。为提高产量，并获得较高性能的PN结，新的扩散工艺方式的研发已成为各电池厂技术攻关的重点。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对上述现有技术的弱点和隐患，提供一种能有效提高扩散产能，同时获得较高性能的PN结的新型扩散炉湿氧扩散装置。

本实用新型解决上述问题所采用的技术方案为：一种新型扩散炉湿氧扩散装置，它包括低恒温槽和高恒温槽。在所述低恒温槽和高恒温槽中分别设置有源瓶和水汽瓶，所述源瓶和水汽瓶上均设置有出气口和进气口，且水汽瓶上设置有加水口，出气口位于液面上方，进气口位于液面下方，所述进气口与氮气气源连接，出气口与扩散炉的气体入口相连，扩散炉的气体入口同时与氧气气源连接。

经过实验优化后，低恒温槽的温度保持在20℃，高恒温槽的温度保持在50℃，低恒温槽的源瓶中存储POCl₃溶液，高恒温槽的源瓶中存储水溶液。

与现有技术相比，本实用新型的特点在于：

本实用新型在扩散过程中导入湿氧扩散过程，不仅可以一定程度上降低源量，同时形成的较厚的氧化层可以很好降低表面扩散P的浓度，提高表面杂质分布的均匀性，形成较低表面浓度的PN结，并在增加扩散硅片数量的同时确保扩散均匀性，保证PN结质量的同时提高了产能。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型中水汽瓶的结构示意图。

其中：

低恒温槽 1

高恒温槽 2

源瓶 3

水汽瓶 4

出气口 5

进气口 6

加水口 7

扩散炉 8。

具体实施方式

以下结合实施例对本实用新型作进一步详细描述。

如图1，2所示，本实用新型涉及一种新型扩散炉湿氧扩散装置，包括低恒温槽1和高恒温槽2，低恒温槽1的温度保持在20℃，高恒温槽2的温度保持在50℃，在所述低恒温槽1和高恒温槽2中分别设置有源瓶3和水汽瓶4，所述源瓶3和水汽瓶4均上设置有出气口5和进气口6，在所述水汽瓶4上设置有加水口7，出气口5位于液面上方，进气口6位于液面下方，低恒温槽1的源瓶3中存储POCl₃溶液，高恒温槽2的水汽瓶4中存储水溶液，通过恒温槽对瓶中的溶液加热并使瓶中溶液保持温度恒定，所述进气口6与氮气气源连接，出气口5与扩散炉8的气体入口相连，扩散炉8的气体入口同时与氧气气源连接，通过向瓶中通入氮气，气体由出气口携带水汽进入扩散炉管，使扩散炉管内形成湿氧环境，起到湿法氧化的作用。

所述的水汽瓶通气方式模拟通源的过程，进气口位于水面下，出气口位于水面上，通过恒温槽加热提高水汽量，同时通过恒温、流量设定控制进气量，使得湿氧扩散过程得到有效控制。

除上述实施例外，本实用新型还包括有其他实施方式，凡采用等同变换或者等效替换方式形成的技术方案，均应落入本实用新型权利要求的保护范围之内。