[实用新型]一种石英晶振多功能加工装置有效
申请号: | 201721336373.1 | 申请日: | 2017-10-17 |
公开(公告)号: | CN207116388U | 公开(公告)日: | 2018-03-16 |
发明(设计)人: | 李直荣 | 申请(专利权)人: | 马鞍山荣泰科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 243000 安徽省马鞍山*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石英 多功能 加工 装置 | ||
1.一种石英晶振多功能加工装置,其特征是,所述装置包括机架(1),机架(1)上表面设有晶片入料装置(2)、瓷片入料装置(16)、出料装置(3)和圆形操作台(8);所述晶片入料装置(2)安装抓取机械手(19),用于抓取晶片;所述瓷片入料装置(16)安装抓取机械手(19),用于抓取瓷片;所述出料装置(3)安装抓取机械手(19),用于抓取点胶后的晶片;晶片夹具(9)装设于圆形操作台(8)上,用于放置并固定晶片和瓷片;所述晶片夹具(9)下方安装吸嘴(5),用于吸附瓷片和晶片;激光标识(13)安装于机架(1)上,用于标识晶片需要镀银和点胶的位置;镀银装置(14)安装于机架(1)上,用于对晶片需要镀银的位置进行镀银;点胶装置(15)安装于机架(1)上,用于对晶片需要点胶的位置进行点胶;初测激光打标(18)安装于机架(1)上,用于晶片初步测试并进行激光标注;抓点相机(6)安装于机架(1)上,用于观察镀银位置信息和点胶位置信息;观测台(7)安装于机架(1)上,用于查看抓点相机(6)反馈的视频信息;控制系统(4)安装于机架(1)内,用于控制镀银装置(14)和点胶装置(15)的工作状态。
2.根据权利要求1所述的石英晶振多功能加工装置,其特征是,所述镀银装置(14)内安装镀银伺服模组(10),使得镀银装置(14)可按XY轴自由移动。
3.根据权利要求1所述的石英晶振多功能加工装置,其特征是,所述镀银装置(14)侧边安装探高仪(11),用于控制镀银装置(14)与晶片之间的接触距离。
4.根据权利要求1所述的石英晶振多功能加工装置,其特征是,所述激光标识(13)被抓点相机(6)识别后,反馈至控制系统(4),用于指导镀银和点胶的位置、厚度等加工信息,并将视频信息反馈至观测台(7)。
5.根据权利要求1所述的石英晶振多功能加工装置,其特征是,所述吸嘴(5)吸附瓷片,并可带动瓷片左右旋转。
6.根据权利要求1所述的石英晶振多功能加工装置,其特征是,所述观测台(7)由电脑显示屏或工业交互界面构成。
7.根据权利要求1所述的石英晶振多功能加工装置,其特征是,所述点胶装置(15)内安装微调装置(12),用于控制点胶阀的竖直高度,从而调整晶片和点胶阀的间距。
8.根据权利要求1所述的石英晶振多功能加工装置,其特征是,所述初测激光打标(18)对晶片进行激光标注后,便于机械化筛选。
9.根据权利要求1所述的石英晶振多功能加工装置,其特征是,所述圆形操作台(8)可根据控制系统(4)给予的指令,按一定速度旋转或定点停顿。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造