[实用新型]一种用于真空镀膜工件离子除尘的装置

权利要求书

1.一种用于真空镀膜工件离子除尘的装置,其特征在于:包括除尘箱体,所述除尘箱体的两旁侧分别设有进风组件和排气组件,所述进风组件和排气组件均与除尘箱体连通并构成风流通道，所述进风组件能产生离子风并沿所述风流通道送入所述除尘箱体;所述除尘箱体的内侧壁上固设有若干加热装置，所述加热装置用于对去水送入除尘箱体的离子风的水气和/或对置于除尘箱体内的真空镀膜工件干燥;所述除尘箱体的底部/顶部安设有一驱动装置,该驱动装置传动连接一置于所述除尘箱体的工件挂架,所述驱动装置能驱动工件挂架转动并带动工件转动,配合所述进风组件送风及所述加热装置加热完成对工件的离子静电除尘和干燥。

2.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜工件离子除尘的装置,其特征在于:所述进风组件包括在所述除尘箱体竖向方向设置的若干进风通道,每一所述进风通道包括进风管、空气过滤器及离子风机;所述进风管内靠近其进风口位置处安设所述空气过滤器,所述进风管远离其进风口的端则与所述离子风机的进风口对接,所述离子风机的出风口对接开制在所述除尘箱体侧壁上的进风孔;所述离子风机抽取沿所述进风管流动且经所述空气过滤器过滤除尘的外部空气并形成洁净的离子风送入所述除尘箱体。

3.根据权利要求2所述的一种用于真空镀膜工件离子除尘的装置,其特征在于:所述进风组件包括两进风通道。

4.根据权利要求3所述的一种用于真空镀膜工件离子除尘的装置,其特征在于:所述空气过滤器为板式初效过滤器。

5.根据权利要求3所述的一种用于真空镀膜工件离子除尘的装置,其特征在于:所述离子风机为轴流式离子风机。

6.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜工件离子除尘的装置,其特征在于:所述加热装置为电加热棒或线形加热器。

7.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜工件离子除尘的装置,其特征在于:所述排气组件包括至少两轴流风机,每一轴流风机一端与开制在所述除尘箱体侧壁上的出风孔对接,另一端通过风管连接排气管;每一所述轴流风机抽取所述除尘箱体内的空气并将其沿所述风管和排气管排出。

8.根据权利要求1所述的一种用于真空镀膜工件离子除尘的装置,其特征在于:所述驱动装置为电动机,且所述电动机的转动轴竖向伸入所述除尘箱体并通过法兰配合轴承与所述工件挂架的转轴连接,所述电动机传动所述转轴相对所述除尘箱体转动，从而带动所述工件挂架及真空镀膜工件旋转转动。