[实用新型]真空旋转密封结构

权利要求书

1.一种真空旋转密封结构，其特征在于，包括电机、电机安装座、动力轴、安装座以及真空室，所述电机通过电机安装座固定于所述真空室的外壁，所述动力轴的一端通过联轴器连接于所述电机的轴端，所述动力轴背离所述联轴器的一端通过安装座可转动固定于所述真空室的外壁，所述动力轴背离所述联轴器的一端设置于所述真空室内，所述联轴器、安装座以及动力轴设置于所述电机安装座内部，所述安装座与所述真空室之间密封设置。

2.根据权利要求1所述的真空旋转密封结构，其特征在于：所述动力轴与所述安装座之间设有轴承。

3.根据权利要求1所述的真空旋转密封结构，其特征在于：所述安装座靠近所述联轴器的一端径向向外凸设有第一凸台，所述第一凸台靠近所述真空室一侧的端面凹设有环形第一凹槽，所述第一凹槽内设有第一密封圈。

4.根据权利要求1所述的真空旋转密封结构，其特征在于：所述安装座靠近所述真空室的一侧端部突出于所述真空室的内壁，所述安装座两端分别通过第一压套和第二压套设有第一骨架密封圈和第二骨架密封圈，所述第一骨架密封圈和第二骨架密封圈与所述动力轴对应设置。

5.根据权利要求4所述的真空旋转密封结构，其特征在于：所述安装座靠近所述联轴器的一侧端面凹设有第二凹槽，所述第一压套靠近所述安装座的一侧端面轴向凸设有与所述第二凹槽对应设置的第二凸台，所述第二凸台端面凹设有环形第三凹槽，所述第三凹槽内设有第二密封圈。

6.根据权利要求4所述的真空旋转密封结构，其特征在于：所述安装座靠近所述真空室的一侧端面凹设有第四凹槽，所述第二压套靠近所述安装座的一侧端面轴向凸设有与所述第四凹槽对应设置的第三凸台，所述第三凸台端面凹设有环形第五凹槽，所述第五凹槽内设有第三密封圈。