[实用新型]温压复合传感器

说明书

本实用新型公开了一种温压复合传感器，其特征在于：包括引压嘴、基座、弹性体、外壳、温敏电阻。所述弹性体表面通过离子束溅射工艺制造四个薄膜应变电阻形成惠斯通电桥，用于测量介质压力。所述弹性体表面贴上所述温敏电阻用于测量介质温度。由于将溅射薄膜压力传感器引压嘴与基座分开加工，并且，引压嘴加工有应力隔离槽，传感器在与介质压力测量管道连接时，扳手的机械扭矩和变形所产生的较大应力不会传导至压力传感器弹性体上，能确保传感器的测量精度和长期稳定性，同时增加经济实用的温敏电阻用于测量介质温度。这样能获得测量精度高、稳定性好、能同时测量温度的高性能温度压力复合传感器产品。

技术领域

本实用新型涉及一种压力传感器，尤其涉及一种温度压力同时测量的温压复合传感器。

背景技术

溅射薄膜压力传感器是一种性能优良的压力传感器，它具有测量精度高、稳定性好、测量温度范围宽、量程范围大等优点，在航空、航天、军工、核工业、石化、交通、冶金、食品、医药、物联网等许多领域得到应用。但普通的溅射薄膜压力传感器不具备温度测量功能，或者具备温度测量功能，但需要在制备压力敏感功能薄膜的基础上增加温度敏感薄膜的制备和光刻工艺，工艺难度高，生产效率低，产品成本高。另外，现有的压力传感器引压嘴和基座一体加工，压力传感器在与测量管道连接时，扳手的机械扭矩所产生的应力会迅速传导至压力传感器弹性体上，对传感器敏感元件产生较大影响，使传感器测量精度和稳定性大大降低。

然而，在现实的压力测量领域中，往往在压力测量的同时需要经济方便地测量介质温度。

因此，开发一种具有测量精度高、稳定性好，同时能经济方便地测量介质温度、长期可靠工作的温压复合传感器极其重要。

将溅射薄膜压力传感器引压嘴和基座分开加工并设计应力隔离槽，确保扳手的机械扭矩所产生的应力不会传导至压力传感器弹性体上从而保证传感器长期稳定工作；同时增加经济实用的温敏电阻用于测量介质温度，解决上述存在的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种温压复合传感器，针对现有技术的不足，在保留溅射薄膜压力传感器的原有优点外，实现温度压力同时测量的目的。

为解决以上技术问题，本实用新型的技术方案是：一种温压复合传感器，其特征在于：包括引压嘴、基座、弹性体、外壳、温敏电阻。

所述弹性体表面通过离子束溅射工艺制造四个薄膜应变电阻形成惠斯通电桥，用于测量介质压力。

所述弹性体表面贴上所述温敏电阻用于测量介质温度。

所述引压嘴中上部外侧加工有应力隔离槽，以确保扳手的机械扭矩所产生的应力不会传导至所述弹性体上从而保证传感器长期稳定工作。

与现有技术相比，本实用新型所具有的有益效果为：由于将溅射薄膜压力传感器引压嘴与基座分开加工，并且，引压嘴加工有应力隔离槽，传感器在与介质压力测量管道连接时，扳手的机械扭矩和变形所产生的较大应力不会传导至压力传感器弹性体上，能确保传感器的测量精度和长期稳定性，同时增加经济实用的温敏电阻用于测量介质温度。这样能获得测量精度高、稳定性好、能同时测量温度的高性能温度压力复合传感器产品。

附图说明

图1为本实用新型的温压复合传感器的结构示意图。

图中：1、引压嘴，11、引压孔，12、应力隔离槽，2、基座

3、弹性体，4、外壳，5、温敏电阻，6、压力焊盘

13、压力信号线，14、温度信号线

具体实施方式