[实用新型]方硅芯切割机硅棒固定工装

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种方硅芯切割机硅棒固定工装，属于多晶硅生产技术领域。

背景技术

目前，目前国内生产多晶硅的工艺大部分都是常规三氯氢硅氢还原法，即改良西门子法，改良西门子法或其他类似方法生产大直径多晶硅的主要设备是多晶硅还原炉，多晶硅还原炉在细长的硅芯上通上电源，使硅芯加热发红，直至表面温度达到1100摄氏度，通入高纯的三氯氢硅和氢气，使其在高温下发生氢还原反应，使三氯氢硅中的硅分子堆积在硅芯上，使其的直径不断地增大，通常，硅芯的直径在7-10毫米，可以是圆形也可以是方型，或是其他形状，最终通过氢还原反应使直径不断地增大到120-200毫米，生产出高纯太阳能级6N或电子级11N的多晶硅器均无法适用于厂内方硅芯的测试。

目前硅芯的制备方法有二种，传统的方法是用CZ法（区熔提拉法），即把直径在20-50毫米的硅棒在充满惰性气体的真空炉膛内用高频感应加热，使其顶部局部熔化，从上部放入1根直径在5-10毫米的籽晶，然后慢慢向上提拉，使其成为直径在7-10毫米，长度在1900-3000毫米之间的细长硅芯，其缺点是提拉速度慢，一般为8-12毫米/分钟，拉制1根2米的硅芯需要4小时，生产效率低，电力消耗大，设备投资大。

另一种是用金刚石工具切割法，美国Diamond Wire Technology公司研制出采用金刚石线的数控多晶硅细长硅芯多线切割机床，用于硅芯的制备。通过利用电镀上金刚石微粒的细钢丝线在被加工工件上高速地往复运动或单向移动，将硅棒压在该机床用金刚石线交叉组成的方形线网上，从而将该硅棒切割成细长的硅芯。其优点十分明显，10-12小时可以切割出200根左右2米长的7X7或8X8毫米的方形硅芯，电力消耗小，加工效率高。

目前硅芯切割的母料直接采用还原炉中制得的硅棒，硅芯切割时需要将硅棒悬挂至切割机上，切割时金刚石线容易与硅棒产生偏离，从而影响最终的产品质量和成材率。

发明内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对上述现有技术提供一种方硅芯切割机硅棒固定工装，它能够对硅棒进行有效固定，防止切割时硅棒晃动从而与金刚石线产生偏离，有效保证了最终的产品质量和成材率。

本实用新型解决上述问题所采用的技术方案为：一种方硅芯切割机硅棒固定工装，它包括外壳，所述外壳前侧沿竖直方向设置有进料口，所述进料口左右两侧自上而下设置有多个铰接座，所述铰接座位于外壳内壁上，所述铰接座上铰接有抱臂，左右两侧的抱臂对称布置，所述抱臂包括连接臂，所述连接臂外端与铰接座相铰接，连接臂内端设置有抱箍，所述抱箍上设置有多个锁紧螺栓，所述锁紧螺栓内端设置有保护套。

与现有技术相比，本实用新型的优点在于：

本实用新型一种方硅芯切割机硅棒固定工装，它能够对硅棒进行有效固定，防止切割时硅棒晃动从而与金刚石线产生偏离，有效保证了最终的产品质量和成材率。

附图说明

图1为本实用新型一种方硅芯切割机硅棒固定工装的结构示意图。

图2为图1的A部放大图。

其中：

外壳1

进料口2

抱臂3

连接臂3.1

抱箍3.2

锁紧螺栓3.3

保护套3.4

硅棒4。

具体实施方式

以下结合附图实施例对本实用新型作进一步详细描述。

如图1、图2所示，本实施例中的一种方硅芯切割机硅棒固定工装，它包括外壳1，所述外壳1前侧沿竖直方向设置有进料口2，所述进料口2左右两侧自上而下设置有多个铰接座，所述铰接座位于外壳1内壁上，所述铰接座上铰接有抱臂3，左右两侧的抱臂3对称布置，所述抱臂3包括连接臂3.1，所述连接臂3.1外端与铰接座相铰接，连接臂3.1内端设置有抱箍3.2，所述抱箍3.2上设置有多个锁紧螺栓3.3，所述锁紧螺栓3.3内端设置有保护套3.4。

除上述实施例外，本实用新型还包括有其他实施方式，凡采用等同变换或者等效替换方式形成的技术方案，均应落入本实用新型权利要求的保护范围之内。