[实用新型]一种精密位移传感器

权利要求书

1.一种精密位移传感器，其特征在于：包括镜筒，所述镜筒内固定有成像镜头，所述成像镜头和所述镜筒共轴，所述成像镜头上部成像端连接摄像头；所述镜筒内底端嵌有分光棱镜，所述分光棱镜的分光面与所述镜筒轴向成45度夹角，所述分光棱镜底端平面设有参考平面镜；所述镜筒侧壁设有开口，所述开口位于所述分光棱镜侧边处，所述开口内嵌有光源；还包括L型弹片，所述L型弹片一端通过铆钉固定在所述镜筒外侧壁底端，所述L型弹片另一端连接触头座，所述触头座上端靠近所述参考平面镜的一侧设有球面反射镜，所述触头座下端设有凸起，所述凸起上设有触头。

2.根据权利要求1所述的精密位移传感器，其特征在于：所述光源发射的光水平射入所述分光棱镜，通过分光棱镜内部反射面反射后一部分反射光通过参考平面镜向上反射回去，另一部分光透过所述分光棱镜后被所述球面发射镜反射回去再穿过所述参考平面镜；两部分光线形成干涉光后射入所述成像镜头后被所述摄像头接收。

3.据权利要求1所述的精密位移传感器，其特征在于：所述分光棱镜为50/50分光棱镜。

4.据权利要求1所述的精密位移传感器，其特征在于：所述参考平面镜为半透明平面镜，反射量和透射量比为1∶1。

5.根据权利要求1所述的精密位移传感器，其特征在于：所述光源为激光光源，所述光源通过电缆与外部电源连接。

6.根据权利要求1所述的精密位移传感器，其特征在于：所述触头为半圆型刚性耐磨损触头。

7.根据权利要求1所述的精密位移传感器，其特征在于：所述球面反射镜的球面与所述参考平面镜的距离为0.5-5mm。