[实用新型]一种利用氟硅酸制备无水氟化氢过程中的尾气处理装置

权利要求书

1.一种利用氟硅酸制备无水氟化氢过程中的尾气处理装置，其特征在于：包括依次设置的多级吸收塔（1）、焦炭过滤器（2）和烟囱（3），多级吸收塔中最前端的吸收塔的进气口连接尾气管，出气口与下一吸收塔的进气口连接，最后一级吸收塔的出气口连接焦炭过滤器（2）的进气口，焦炭过滤器（2）的出气口连接烟囱进气口；该装置还包括洗涤液收集槽（4），其通过阀门及管道分别连接到吸收塔（1）和焦炭过滤器（2）的进液口，吸收塔（1）和焦炭过滤器（2）的出液口分别连接至洗涤液收集槽（4）。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述洗涤液收集槽（4）与吸收塔（1）和焦炭过滤器（2）的进液口之间设置有泵。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述吸收塔（1）的上部设有填料层，填料层的上方设有填料进口，下方设有填料出口。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述装置还设有洗涤液补充管路，其与吸收塔（1）和焦炭过滤器（2）的进液口通过管道及阀门连接。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述吸收塔（1）和焦炭过滤器（2）的进液口均位于设备的顶部，且安装有喷淋装置。