[实用新型]一种单晶炉提拉头连接组件有效

专利信息
申请号: 201721282713.7 申请日: 2017-09-30
公开(公告)号: CN207452297U 公开(公告)日: 2018-06-05
发明(设计)人: 李永哲;赵京通;李润飞;侯颖;王瑞贤;陈晓旭;董政 申请(专利权)人: 河北晶龙阳光设备有限公司
主分类号: C30B15/20 分类号: C30B15/20;C30B15/30;C30B29/06
代理公司: 石家庄德皓专利代理事务所(普通合伙) 13129 代理人: 杨瑞龙
地址: 055550 河北省*** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 过渡连接法兰 液面 过渡副室 测距 单晶炉提拉头 本实用新型 固定设置 检测误差 连接组件 通孔 测距传感器 测温传感器 单晶炉副室 传感装置 观察窗 原有的 圆筒状 侧壁 测温 传动 提拉
【说明书】:

本实用新型涉及一种单晶炉提拉头连接组件,其包括用于和单晶炉副室连接的过渡连接法兰、固定设置在所述过渡连接法兰中心上的过渡副室和设置在所述过渡连接法兰上的三个晶转支柱,三个晶转支柱均匀分布于所述过渡副室周圆,所述过渡副室呈圆筒状,其侧壁固定设置有观察窗,所述过渡连接法兰上开设有两个通孔,所述两个通孔上分别设置有液面测温传感器和液面测距传感器。本实用新型在结构合理,整体的稳定性较强,并且在原有的上传动(提拉头)的过渡连接法兰上增加设置了液面测温和液面测距传感装置,液面测温检测误差为±2℃,液面测距检测误差为±1mm。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅生产设备领域,尤其涉及一种单晶炉提拉头连接组件。

背景技术

随着光伏设备的推广和硅基电池产品市场竞争的加剧,单晶硅的生产质量和生产效率影响到产品的成本和市场竞争力。单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉包括提拉头(又叫上传动)、副室、炉盖、炉筒等机构,其中,所述提拉头主要由安装盘、减速机、籽晶腔、划线环、电机、磁流体、籽晶称重头、软波纹管、过渡副室等部件组成,如专利申请号为CN2017102933473、名称为一种改进的单晶炉结构及其应用。现有的提拉头存在操作不方便、控制难度大等问题。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种单晶炉提拉头连接组件。

为解决上述问题,本实用新型所采取的技术方案是:

一种单晶炉提拉头连接组件,其关键技术在于:其包括用于和单晶炉副室连接的过渡连接法兰、固定设置在所述过渡连接法兰中心上的过渡副室和设置在所述过渡连接法兰上的三个晶转支柱,三个晶转支柱均匀分布于所述过渡副室周圆,所述过渡副室呈圆筒状,其侧壁固定设置有观察窗,所述过渡连接法兰上开设有两个通孔,所述两个通孔上分别设置有液面测温传感器和液面测距传感器。

作为本实用新型的进一步改进,所述观察窗包括焊接设置在所述过渡副室上的筒状观察窗基体、压盖以及设置于所述观察窗基体和压盖之间的窗口玻璃,所述观察窗基体和窗口玻璃之间设置有第一密封垫,所述压盖和窗口玻璃之间设置有第二密封垫。

作为本实用新型的进一步改进,所述过渡副室上还设置有用于通入惰性气体的氩气连接头。

作为本实用新型的进一步改进,所述观察窗为两个,两个观察窗对称设置于所述过渡副室两侧。

作为本实用新型的进一步改进,所述过渡副室外壁设置有夹套,所述夹套上设置有两冷却水咀。

采用上述技术方案所产生的有益效果在于:

本实用新型在结构合理,整体的稳定性较强,并且在原有的上传动(提拉头)的过渡连接法兰上增加设置了液面测温和液面测距传感装置,液面测温检测误差为±2℃,液面测距检测误差为±1mm。实现了单晶炉的拉晶过程中,硅液的温度和位置的可控性,使装置的可操作性更强,能够根据工艺参数要求,对硅液温度和位置进行控制,结合自动抽空、自动加热控制等,实现各工艺过程的自动控制,实现拉晶过程的自动化,提高了产片的质量和生产效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其它的附图。

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是本实用新型的俯视结构示意图。

图3是本实用新型另一角度的结构示意图。

图4是观察窗的结构示意图。

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