[实用新型]一种单晶炉用测径仪有效
| 申请号: | 201721273657.0 | 申请日: | 2017-09-29 |
| 公开(公告)号: | CN207468770U | 公开(公告)日: | 2018-06-08 |
| 发明(设计)人: | 范桂林;李茂欣 | 申请(专利权)人: | 上海磐盟电子材料有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/26 | 分类号: | C30B15/26;C30B29/06 |
| 代理公司: | 上海宣宜专利代理事务所(普通合伙) 31288 | 代理人: | 刘君 |
| 地址: | 201611 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 底座 固定杆 第一定位槽 固定块 圆槽 本实用新型 滑动安装 测径仪 单晶炉 楔形块 内壁 通孔 底部四角 底座安装 底座四角 滑动连接 固定座 顶侧 开口 测量 | ||
本实用新型公开了一种单晶炉用测径仪,包括底座,所述底座的底部四角位置均固定安装有固定杆,四个固定杆远离底座的一端均滑动连接有位于底座下方的固定块,且固定块靠近底座的一侧开设有圆槽,四个固定杆远离底座的一端分别安装在四个圆槽内,圆槽的一侧内壁上开设有顶侧为开口的第一定位槽,固定杆的一侧固定安装有第一楔形块,第一楔形块滑动安装在第一定位槽内,第一定位槽远离固定杆的一侧内壁上开设有第一通孔,第一通孔内滑动安装有固定座。本实用新型不仅能够方便快速的将底座安装在固定块上,并且能够方便分别调节底座四角的高度,从而能够提高测量的准确性,便于工作人员使用。
技术领域
本实用新型涉及单晶炉技术领域,尤其涉及一种单晶炉用测径仪。
背景技术
单晶炉是一种在惰性气体环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备,单晶直径在生长过程中可受到温度,提拉速度与转速,坩埚跟踪速度与转速,保护气体的流速等因素的影响,单晶成型后,一般采用外带测径仪测取其单晶的直径。
目前人们通常是将单晶炉用测径仪通过螺丝固定安装在单晶炉观察窗口来测量单晶硅棒直径,其利用螺丝固定安装单晶炉用测径仪不仅拆装较为麻烦,并且容易导致测径仪歪斜,从而影响测量的准确性。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种单晶炉用测径仪。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
一种单晶炉用测径仪,包括底座,所述底座的底部四角位置均固定安装有固定杆,四个固定杆远离底座的一端均滑动连接有位于底座下方的固定块,且固定块靠近底座的一侧开设有圆槽,四个固定杆远离底座的一端分别安装在四个圆槽内,圆槽的一侧内壁上开设有顶侧为开口的第一定位槽,固定杆的一侧固定安装有第一楔形块,第一楔形块滑动安装在第一定位槽内,第一定位槽远离固定杆的一侧内壁上开设有第一通孔,第一通孔内滑动安装有固定座,且固定座滑动安装在第一通孔内,固定座上开设有横穿孔,横穿孔内滑动安装有滑杆,且滑杆的两端均延伸至横穿孔外,滑杆的一端延伸至第一定位槽内并固定安装有第二楔形块,且第二楔形块与第一楔形块相接触,第一通孔的顶侧内壁上开设有螺孔,螺孔内活动安装有丝杆,且丝杆的两端均延伸至螺孔外,丝杆外位于第一通孔内的一端转动安装在固定座上。
优选的,所述底座的顶部对称固定安装有两个立杆,底座的上方设有导向杆,且导向杆的两端分别固定安装在两个立杆上,导向杆上滑动安装有滑块,滑块的一侧设有光学镜头,导向杆远离底座的一侧固定安装有标尺,底座上开设有第二通孔,且第二通孔与滑块的位置相适配。
优选的,所述圆槽内远离第一定位槽的一侧内壁上开设有顶侧为开口第二定位槽,固定杆远离第一楔形块的一侧固定安装有定位块,定位块滑动安装在第二定位槽内。
优选的,所述圆槽内滑动安装有圆形卡块,且圆形卡块与固定杆相接触,圆槽远离开口的一侧内壁上焊接有第一弹簧,第一弹簧与圆形卡块之间焊接固定。
优选的,所述横穿孔的两侧内壁上对称开设有弧形凹槽,滑杆的两侧对称固定安装有弧形卡块,弧形卡块滑动安装在弧形凹槽内,滑杆上套设有焊接在弧形凹槽内壁上的第二弹簧,且第二弹簧与弧形卡块之间焊接固定。
优选的,所述滑杆远离第二楔形块的一端延伸至固定块外并固定安装有把手,丝杆远离固定座的一端固定安装有手轮,螺孔内固定安装有螺纹圈,丝杆与螺孔圈之间通过螺纹连接。
优选的,所述固定块远离底座的一侧固定安装有安装座,安装座上对称设有两个固定螺栓。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
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