[实用新型]一种应用于真空管道的无极调节机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种调节机构，具体为一种应用于真空管道的无极调节机构。

背景技术

在真空设备系统中有时需要利用管道一端连接真空实验腔室，管道另一端连接CCD探测器来捕捉真空室内实验的情况，探测器与真空腔室内的被探测样品之间需要有很好的同心度，但是管道一般很长，稍有机械加工及焊接的变形则无法满足同心度，目前市面是解决这种管道同心度的问题，采用的机构结构较为复杂且造价成本较高。

实用新型内容

针对背景技术中存在的问题，本实用新型提供了一种应用于真空管道的无极调节机构。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种应用于真空管道的无极调节机构，包括依次可拆卸连接的XZ面调节机构、XZ面管道、XY面调节机构与XY面管道，所述XZ面调节机构与XY面调节机构结构相同但安装角度相差90°。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述XZ面调节机构与XY面调节机构均包括对接法兰a、对接法兰b、金属波纹管与调节螺柱，所述金属波纹管两端分别连接对接法兰a与对接法兰b，所述对接法兰a上设置有调节座，所述对接法兰b上设置有轴承中心座，所述轴承中心座转动连接有连杆端轴承，所述连杆端轴承与调节螺柱一端螺纹连接，所述调节螺柱另一端穿过调节座上的调节孔并通过两个调节螺母进行固定，所述XY面管道与XZ面管道两端均设置有对接法兰c，所述XZ面调节机构、XZ面管道、XY面调节机构与XY面管道通过对接法兰a、对接法兰b与对接法兰c依次相连接。

作为本实用新型一种优选的技术方案，所述金属波纹管采用不锈钢材质制成。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过XZ面调节机构与XY面调节机构，能够实现整体管道间的一定角度内的自由偏转，利用两套调节机构的角度互补，达到管道的角度无极调节的目的，整体设计操作便捷，结构简单实用且造价成本低，便于推广。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为图1中XZ面调节机构结构示意图；

图中：1-XZ面调节机构；2-XZ面管道；3-XY面调节机构；4-XY面管道；5-对接法兰c；101-对接法兰a；102-对接法兰b；103-金属波纹管；104-调节螺柱；105-轴承中心座；106-连杆端轴承；107-调节螺母；108-调节座。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例：

请参阅图1与图2，本实用新型提供一种应用于真空管道的无极调节机构，包括依次可拆卸连接的XZ面调节机构1、XZ面管道2、XY面调节机构3与XY面管道4，所述XZ面调节机构1与XY面调节机构3结构相同但安装角度相差90°，具体的，所述XZ面调节机构1与XY面调节机构3均包括对接法兰a101、对接法兰b102、金属波纹管103与调节螺柱104，所述金属波纹管103两端分别连接对接法兰a101与对接法兰b102，所述对接法兰a101上设置有调节座108，所述对接法兰b102上设置有轴承中心座105，所述轴承中心座105转动连接有连杆端轴承106，所述连杆端轴承106与调节螺柱104一端螺纹连接，所述调节螺柱104另一端穿过调节座108上的调节孔并通过两个调节螺母107进行固定，所述XY面管道4与XZ面管道2两端均设置有对接法兰c5，所述XZ面调节机构1、XZ面管道2、XY面调节机构3与XY面管道4通过对接法兰a101、对接法兰b102与对接法兰c5依次相连接，本实用新型利用金属波纹管103的柔韧性可以实现伸缩与弯曲，在真空设备的系统中，利用XZ面调节机构1内的金属波纹管103，可以对连接其上的管道在XZ平面内的一定范围的角度调节，然后通过XZ面调节机构1上的调节螺柱104进行调整固定，同理利用XY面调节机构2内的金属波纹管103，可以对连接其上的管道在XY平面内的一定范围的角度调节，然后通过XY面调节机构1上的调节螺柱104进行调整固定；具体的，所述金属波纹管5采用不锈钢材质制成，在真空环境中，不锈钢的材料表面放气率是相对很低的、加工性优良且还具有耐高温烘烤的性能。