[实用新型]一种冷坩埚的应急冷却系统有效
| 申请号: | 201721262771.3 | 申请日: | 2017-09-29 |
| 公开(公告)号: | CN207262962U | 公开(公告)日: | 2018-04-20 |
| 发明(设计)人: | 唐皇哉;胡树金;张清勇 | 申请(专利权)人: | 睿为电子材料(天津)有限公司 |
| 主分类号: | F27D9/00 | 分类号: | F27D9/00 |
| 代理公司: | 天津市鼎和专利商标代理有限公司12101 | 代理人: | 谢宇强 |
| 地址: | 300382 天津市西青区学*** | 国省代码: | 天津;12 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 坩埚 应急 冷却系统 | ||
1.一种冷坩埚的应急冷却系统,包括冷坩埚、换热器、循环水泵和低位循环水箱,所述冷坩埚、换热器、循环水泵和低位循环水箱依次通过管路连接,构成一主循环系统回路,其特征在于:还包括高位水箱,所述高位水箱通过补水电磁阀与冷坩埚的进水口连接,所述冷坩埚的出水口连接排水管;在主循环系统管路上设有电节点压力表,所述电节点压力表与蓄电池电连接,所述蓄电池与补水电磁阀电连接。
2.根据权利要求1所述的一种冷坩埚的应急冷却系统,其特征在于:所述冷坩埚与排水管之间的出口管路上设置排水电磁阀,所述排水电磁阀与补水电磁阀串联接入蓄电池。
3.根据权利要求1所述的一种冷坩埚的应急冷却系统,其特征在于:所述低位循环水箱与冷坩埚进水口之间的管路上设置止回阀。
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