[实用新型]一种冷坩埚的应急冷却系统有效

专利信息
申请号: 201721262771.3 申请日: 2017-09-29
公开(公告)号: CN207262962U 公开(公告)日: 2018-04-20
发明(设计)人: 唐皇哉;胡树金;张清勇 申请(专利权)人: 睿为电子材料(天津)有限公司
主分类号: F27D9/00 分类号: F27D9/00
代理公司: 天津市鼎和专利商标代理有限公司12101 代理人: 谢宇强
地址: 300382 天津市西青区学*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 一种 坩埚 应急 冷却系统
【权利要求书】:

1.一种冷坩埚的应急冷却系统,包括冷坩埚、换热器、循环水泵和低位循环水箱,所述冷坩埚、换热器、循环水泵和低位循环水箱依次通过管路连接,构成一主循环系统回路,其特征在于:还包括高位水箱,所述高位水箱通过补水电磁阀与冷坩埚的进水口连接,所述冷坩埚的出水口连接排水管;在主循环系统管路上设有电节点压力表,所述电节点压力表与蓄电池电连接,所述蓄电池与补水电磁阀电连接。

2.根据权利要求1所述的一种冷坩埚的应急冷却系统,其特征在于:所述冷坩埚与排水管之间的出口管路上设置排水电磁阀,所述排水电磁阀与补水电磁阀串联接入蓄电池。

3.根据权利要求1所述的一种冷坩埚的应急冷却系统,其特征在于:所述低位循环水箱与冷坩埚进水口之间的管路上设置止回阀。

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