[实用新型]一种真空镀膜除气机构有效
| 申请号： | 201721246909.0 | 申请日： | 2017-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN207483839U | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 王振东;何万能 | 申请（专利权）人： | 苏州诺耀光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区金鸡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 转动辊 导热油 容置空间 转动电极 电热丝 热电偶 本实用新型 除气机构 真空镀膜 加热 除气效率 电性连接 辊面接触 基材表面 均匀加热 热量均匀 通信连接 外壳连接 真空腔体 真空腔 轴承座 基材 杂气 填充 轴承 转动 体内 供电 传递 监测 配合 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空镀膜除气机构，其特征在于，包括外壳，所述外壳内形成有真空腔体，所述真空腔体内设有转动辊，所述转动辊内形成有一容置空间，所述容置空间内填充有导热油；
电热丝，所述电热丝设置在所述容置空间内，以加热导热油；
热电偶，所述热电偶也设置在所述容置空间内，以监测导热油的温度；
第一转动电极，所述第一转动电极与所述电热丝电性连接；
第二转动电极，所述第二转动电极与所述热电偶通信连接；
所述转动辊通过轴承和轴承座配合与所述外壳连接。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜除气机构，其特征在于，所述第一转动电极包括两个第一定子和两个与所述第一定子对应设置的第一转子，两个所述第一转子分别设置于所述转动辊两侧且与所述转动辊固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜除气机构，其特征在于，所述第二转动电极包括两个第二定子和两个与所述第二定子对应设置的第二转子，两个所述第二转子分别设置于所述转动辊两侧且与所述转动辊固定连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州诺耀光电科技有限公司，未经苏州诺耀光电科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201721246909.0/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于防污膜材料的电阻蒸发源
- 下一篇：板材镀膜设备
- 同类专利
- 专利分类
