[实用新型]一种硅片生产线上碎片筛选装置

权利要求书

1.一种硅片生产线上碎片筛选装置，其特征在于：包括光源、图像采集装置、第一机械手、控制器、图像显示装置和碎片收集盒，所述图像采集装置设于所述光源附近，所述图像采集装置、所述第一机械手和所述图像显示装置分别与所述控制器电连接。

2.根据权利要求1所述的碎片筛选装置，其特征在于：还包括来料提升机，所述第一机械手设于所述来料提升机与所述图像采集装置之间，所述来料提升机包括第一传送带、第一花篮卡紧机构和第一花篮提升机构，所述第一花篮卡紧机构设于所述第一传送带上方，所述第一花篮提升机构设于所述第一花篮卡紧机构下方。

3.根据权利要求1所述的碎片筛选装置，其特征在于：还包括缓存提升机构，所述缓存提升机构与所述图像采集装置之间设有第二机械手，所述缓存提升机构包括第二传送带、第二花篮卡紧机构和第二花篮提升机构，所述第二花篮卡紧机构设于所述第二传送带上方，所述第二花篮提升机构设于所述第二花篮卡紧机构下方，所述第二机械手与所述控制器电连接。

4.根据权利要求2所述的碎片筛选装置，其特征在于：还包括缓存提升机构，所述缓存提升机构与所述图像采集装置之间设有第二机械手，所述缓存提升机构包括第二传送带、第二花篮卡紧机构和第二花篮提升机构，所述第二花篮卡紧机构设于所述第二传送带上方，所述第二花篮提升机构设于所述第二花篮卡紧机构下方，所述第二机械手与所述控制器电连接。

5.根据权利要求4所述的碎片筛选装置，其特征在于：所述缓存提升机构与所述来料提升机之间还设有横移机器人。

6.根据权利要求1或2所述的碎片筛选装置，其特征在于：所述光源上方设有支撑架。