[实用新型]一种氮化硼坩埚打磨头固定装置有效
申请号: | 201721234508.3 | 申请日: | 2017-09-25 |
公开(公告)号: | CN207372947U | 公开(公告)日: | 2018-05-18 |
发明(设计)人: | 何军舫 | 申请(专利权)人: | 何军舫 |
主分类号: | B24B41/00 | 分类号: | B24B41/00 |
代理公司: | 北京恒博知识产权代理有限公司 11528 | 代理人: | 范胜祥 |
地址: | 100025 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 氮化 坩埚 打磨 固定 装置 | ||
本实用新型提供了一种氮化硼坩埚打磨头固定装置,包括导轨和支架,所述导轨上设置滑块,所述支架设于滑块上,所述支架上设有打磨棒,所述打磨棒的自由端安装有打磨头。本实用新型提供的氮化硼坩埚打磨头固定装置能够有效减少人工的工作量和失误,具有结构简单、操作方便和效率高的优点。
技术领域
本实用新型涉及打磨装置,尤其涉及一种氮化硼坩埚打磨头固定装置。
背景技术
本实用新型对于背景技术的描述属于与本实用新型相关的相关技术,仅仅是用于说明和便于理解本实用新型的发明内容,不应理解为申请人明确认为或推定申请人认为是本实用新型在首次提出申请的申请日的现有技术。
热解氮化硼坩埚是利用化学气相沉积法,使气体在模具表面沉积,再经过脱模、精加工得来。其制造的主要过程是将与氮化硼坩埚外形相同的模具置于化学气相沉积室内,在加热高温条件下,以氮气为稀释保护气体,将含有氮氢化合物的气体,卤素化合物气体通入炉内,一边进气,一边抽出,使炉内保持低压真空状态,这时在预先处理过的模具上,氨气、卤素化合物都在分解,脱氢的氮与元素硼结合形成化合物,并沉积在模具上,形成热解氮化硼材料;然后经过降温冷却后,取出脱模即得到氮化硼坩埚。
由于气体沉积的不均匀等原因,冷却脱模后得到的氮化硼坩埚表面可能会有瘤泡和厚薄不均、不平整的现象,为了满足氮化硼坩埚美观的要求,在脱模后就必须对氮化硼坩埚的内壁和外壁进行打磨抛光。目前都是采用人工手持打磨装置对氮化硼坩埚进行打磨抛光,在操作时,如有不慎可能导致氮化硼坩埚损坏而使氮化硼坩埚报废,从而浪费材料和成本;同时人工进行抛光打磨速度慢、效率低,对氮化硼坩埚的生产成本也会增加,在修整时粉尘四处飞扬从而影响操作人员的身体健康和造成环境污染。
实用新型内容
为了解决人工打磨抛光氮化硼坩埚效率低的问题,本实用新型提供了一种效率高的氮化硼坩埚打磨头固定装置。
本实用新型实施例提供了一种氮化硼坩埚打磨头固定装置,包括导轨和支架,所述导轨上设置滑块,所述支架设于滑块上,所述支架上设有打磨棒,所述打磨棒的自由端安装有打磨头。
优选地,所述打磨棒高度可调地设置在支架上。
优选地,所述打磨棒铰接在支架上,所述打磨棒与所述支架之间设有弹性件。
优选地,所述打磨棒直接固定在支架上,或通过连接件固定在支架上。
优选地,所述打磨棒的部分或全部为弹性棒。
优选地,所述弹性棒为橡胶棒或弹簧棒。
优选地,还包括驱动装置,所述驱动装置为驱动齿轮或驱动平轮。
优选地,所述滑块与驱动装置传动连接。
优选地,所述驱动装置由人力驱动或由电机驱动。
优选地,所述滑块与驱动装置通过链条机构、皮带机构或齿轮机构传动连接。
优选地,所述导轨上安装限位块。
本实用新型具有以下有益效果:本实用新型实施例通过打磨棒和支架将打磨头固定在滑块上,实现了将打磨头固定的目的,另外,本实用新型实施例提供的氮化硼坩埚打磨头固定装置取代了使用人工打磨抛光氮化硼坩埚,能有效提高生产效率、节省成本,具有结构简单、成本低廉的优点。
应当理解的是,以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的,并不能限制本实用新型。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。
图1为本实用新型实施例的氮化硼坩埚打磨头固定装置的正视图;
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