[实用新型]一种蒸镀装置

说明书

本实用新型涉及显示设备技术领域，具体公开了一种蒸镀装置，包括蒸镀腔室、设置于蒸镀腔室内的蒸镀源、掩膜板支撑架和玻璃基板支撑架，所述掩膜板支撑架用于承载金属掩膜板，所述玻璃基板支撑架用于承载玻璃基板，所述金属掩膜板设于所述蒸镀源和所述玻璃基板之间，所述蒸镀装置还包括依次设置于玻璃基板上方的冷板和磁铁，所述冷板下表面设置有凸起组件，本实用新型通过在冷板下表面设置凸起组件，减少冷板与玻璃基板之间接触产生的静电，同时使得冷板与金属掩膜板贴合时，保持稳定的高度，从而稳定金属掩膜板在不同腔体的制作工艺的一致性，降低金属掩膜板调试的难度以及报废的风险。

技术领域

本实用新型涉及显示设备技术领域，尤其涉及一种蒸镀装置。

背景技术

在平板显示技术中，有机发光二极管显示器尤其轻薄、主动发光、快速响应、广视角、色彩丰富及高亮度、低功耗、耐高低温等众多优点而被业界公认为继液晶显示器（LCD）之后的第三代显示技术。按驱动方式，OLED分为被动式OLED（Passive Matrix OLED，PMOLED）及主动式OLED（Active Martix OLED，AMOLED），其中，PMOLED只能制作小尺寸、低分辨率的显示面板，AMOLED因通过在每个像素中集成薄膜晶体管（TFT）和电容器并由电容器维持电压的方法进行驱动，因而可以实现大尺寸、高分辨率面板，是当前研究的重点及未来显示技术的发展方向。

AMOLED涉及的蒸镀设备在支撑固定玻璃时使用了大型的金属平板，其平板内部通入冷却水，可以减低玻璃在蒸镀时的热量影响，不同的机台之间，传统的冷板结构其玻璃接触面与金属掩膜板（FMM）在贴合时高度难以保持一致。而AMOLED产品在有机蒸镀过程中需要很多张FMM，分布于不同的腔体机台，由于机台结构差异性，尤其是贴合时的高度因素，使得不同腔体机台对应于不同FMM制作工艺，导致一方面FMM调试的难度大，另一方面FMM制作工艺不稳定，容易导致FMM报废。

实用新型内容

针对上述技术问题，本实用新型提供了一种保持冷板与金属掩膜板贴合时的稳定高度、降低金属掩膜板的调试难度以及报废风险的蒸镀装置。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供的具体方案如下：一种蒸镀装置，包括蒸镀腔室、设置于蒸镀腔室内的蒸镀源、掩膜板支撑架和玻璃基板支撑架，所述掩膜板支撑架用于承载金属掩膜板，所述玻璃基板支撑架用于承载玻璃基板，所述金属掩膜板设于所述蒸镀源和所述玻璃基板之间，所述蒸镀装置还包括依次设置于玻璃基板上方的冷板和磁铁，所述冷板下表面设置有凸起组件。

优选的，所述凸起组件包括设置于冷板下表面呈矩阵排列的第一凸起以及设置于冷板下表面边缘处的第二凸起，所述第一凸起呈矩阵排列，减少冷板与玻璃基板之间接触产生的静电，提高制作的稳定性。

优选的，所述第二凸起的高度大于第一凸起的高度，第二凸起的高度稳定冷板与金属掩膜板贴合时的高度，从而稳定金属掩膜板在不同腔体制作工艺的一致性。

优选的，所述第二凸起的高度大于第一凸起的高度40~60um，该高度范围根据实际制作过程中不同金属掩膜板做相应的物理调整。

优选的，所述凸起组件包括设置于冷板下表面呈矩阵排列的第一凸起和冷板下表面边缘处的凸起边框，所述第一凸起呈矩阵排列，减少冷板与玻璃基板之间接触产生的静电，提高制作的稳定性。

优选的，所述凸起边框的高度大于所述第一凸起的高度，所述凸起边框稳定冷板与金属掩膜板贴合时的高度，无需多次调整冷板与金属掩膜板之间的高度距离。

进一步优选的，所述蒸镀装置还包括调节冷板和磁铁上下运动的牵引组件，所述牵引组件包括与冷板和磁铁固定连接的中轴、控制中轴上下运动的控制器，控制器控制中轴上下运动进而调节冷板与磁铁的位置。