[实用新型]等离子体探针测量控制系统

权利要求书

1.一种等离子体探针测量控制系统，其特征在于，包括连接PC机的主控模块，连接所述主控模块电压输出模块以及连接所述电压输出模块的探针电压电流检测模块；所述探针电压电流检测模块的输出端连接所述主控模块；

所述电压输出模块包括正负电压输出单元以及输出放大单元；所述正负电压输出单元包括根据正负极进行串联第一开关电源、第二开关电源；所述输出放大单元包括一级放大电路和二级放大电路；

所述一级放大电路包括第一级放大器，所述二级放大电路包括第二级放大器；所述第一级放大器的第一输入端连接所述主控模块的模拟信号输出端，第二输入端接地，输出端连接所述第二级放大器的第一输入端；所述第二级放大器的第二输入端接地，输出端连接所述探针电压电流检测模块，第一电源端连接所述第一开关电源、第二电源端连接所述第二开关电源。

2.根据权利要求1所述的等离子体探针测量控制系统，其特征在于，所述正负电压输出单元还包括第一熔断器、第一抗干扰电路、第二熔断器以及第二抗干扰电路；

所述第一抗干扰电路包括第一变压器、第一有极电容、第一去耦电容；所述第一开关电源的负极通过所述第一熔断器连接所述第一变压器的第一输入端；所述第一变压器的第二输入端连接所述第一有极电容的负极、所述第一去耦电容的一端、所述第一电源端，第一输出端接地，第二输出端接地；所述第一有极电容的正极、所述第一去耦电容的另一端接地；

所述第二抗干扰电路包括第二变压器、第二有极电容、第二去耦电容；所述第二开关电源的正极通过所述第二熔断器连接所述第二变压器的第一输入端；所述第二变压器的第二输入端连接所述第二有极电容的正极、所述第二去耦电容的一端、所述第二电源端，第一输出端接地，第二输出端接地；所述第二有极电容的负极、所述第二去耦电容的另一端接地。

3.根据权利要求2所述的等离子体探针测量控制系统，其特征在于，所述第一开关电源为300V输出的开关电源模块，所述第二开关电源为300V输出的开关电源模块；所述第一熔断器为2A保险管，所述第二熔断器为2A保险管；所述第一变压器为低频变压器，所述第二变压器为低频变压器。

4.根据权利要求1所述的等离子体探针测量控制系统，其特征在于，

所述一级放大电路还包括第一限流电阻；所述二级放大电路还包括第二限流电阻、自恢复保险丝以及高频旁路电容；所述第一级放大器为OP07运算放大器；所述第二级放大器为PA94功率运算放大器；

所述OP07运算放大器的反相输入端通过所述第一限流电阻连接所述主控模块的模拟信号输出端，正相输入端接地，输出端连接所述PA94功率运算放大器的负输入端；所述PA94功率运算放大器的限流电阻输入端连接所述第二限流电阻，正输入端接地，输出端通过所述自恢复保险丝连接所述探针电压电流检测模块、所述高频旁路电容的一端；所述高频旁路电容的另一端接地。

5.根据权利要求4所述的等离子体探针测量控制系统，其特征在于，所述自恢复保险丝为KR/RF/WH600-110型元件；所述高频旁路电容为无极性聚丙烯滤波电容。

6.根据权利要求1所述的等离子体探针测量控制系统，其特征在于，所述探针电压电流检测模块包括分压电路、探针电压检测电路、探针电流采样电路以及探针电流检测电路；

所述第二级放大器的输出端通过所述分压电路连接所述探针电压检测电路的输入端；所述探针电压检测电路的输出端连接所述主控模块的电压检测端口；

所述第二级放大器的输出端通过所述探针电流采样电路连接所述探针电流检测电路的输入端；所述探针电流检测电路的输出端连接所述主控模块的电流检测端口。