[实用新型]自动硅片清洗机挂篮挂构装置

权利要求书

1.一种自动硅片清洗机挂篮挂构装置，其特征在于：包括用于安装在自动硅片清洗机上的挂钩(1)以及与挂钩(1)配合使用的挂篮(2)，所述挂钩(1)包括左右两个挂板，并且左右挂板设置为：两个挂板的上端形成的开口大于两个挂板的下端形成的开口；所述挂篮(2)的两侧壁(5)上安装有用于挂接在上述挂钩(1)的两个挂板内的轴承(3)，所述轴承(3)位于挂篮(2)的侧壁(5)的内部，所述轴承(3)由两个挂板的上端开口进入，随着两个挂板间距离的变小，轴承(3)挂在两个挂板内，由挂钩(1)带着移动至目标位置。

2.根据权利要求1所述的自动硅片清洗机挂篮挂构装置，其特征在于：所述挂篮(2)的相对的侧壁(5)的内部各安装一个轴承(3)，所述挂钩(1)也设置有两个，并且安装在自动硅片清洗机的机械手的对应位置上，所述轴承(3)为单向轴承，并且所述两个轴承(3)互为反向安装。

3.根据权利要求2所述的自动硅片清洗机挂篮挂构装置，其特征在于：所述挂篮(2)的两侧壁(5)之间设置有多个加强筋(4)，加强筋(4)、侧壁(5)以及挂篮(2)的底壁(6)共同围成容纳硅片清洗花篮的空间，以将挂篮(2)内的硅片清洗花篮限制在上述空间内。