[实用新型]一种单晶硅拉晶炉含油尘富氩尾气回收系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种单晶硅拉晶炉含油尘富氩尾气回收系统。

背景技术

单晶硅的太阳能企业，在生产过程中，需要将大量高纯氩气充入多晶硅生产炉或单晶硅生产炉，作为保护气体，防止空气进入。含氩气的尾气被真空泵抽出排入大气，造成了浪费。单晶硅生产过程中排出的富氩气尾气中氩气的含量高达98％，具有很高的提取价值。同时排放的富氩尾气中含有CO、CH₄、烃类、油、灰尘等对空气造成污染、对人体有伤害的物质。

拉晶炉排放的富氩气并非连续排放，同一根管道内一段时间排放富氩气，一段时间又排放空气，由于单晶炉小而多的特点必须要求回收系统自动控制，要想只回收排放的富氩气而不回收排放的空气，就必须改造单晶炉炉体控制系统，并且每台炉都增加可靠的自动控制阀门，这就增加了大量的投入，并且自动控制阀门过多，一旦故障就会对系统造成巨大损失。

同时富氩尾气中的油和灰尘是一项令人头疼的事情，油尘难于去除，容易增加系统阻力甚至阻塞管道。油污的存在会大大降低除尘设备的效率甚至失效，而灰尘的存在又会降低除油设备效率甚至堵塞除油设备，油和灰尘同时高效去除技术是当前面临的技术难题。

目前国内文献关于富氩尾气回收处理研究很少，实际将富氩尾气回收并提纯高纯氩的项目还没有，国内文献集中在理论上利用低温方式把富氩尾气中杂质去除得到高纯氩，或简单一笔带过说需要把油尘去除，并没有考虑其中的技术难度，也没有注意到拉晶炉排放尾气不是连续的排放，而是一会排放富氩气一会排放空气。

实用新型内容

本实用新型提出了一种单晶硅拉晶炉含油尘富氩尾气回收系统，以不改造单晶炉炉体控制系统为前提，高效的同时除掉其中的油和灰尘，再结合公司积累的提纯技术除去其它杂质，最终得到高纯氩气并返回该企业使用。

本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种单晶硅拉晶炉含油尘富氩尾气回收系统，包括依次管道连接的真空泵1、风机2、H型管3、旋风除尘器4、脱油吸附筒5和布袋除尘器6，所述布袋除尘器6出气口设有氧含量检测仪7，且布袋除尘器6出气口通过两个分支管道分别连接至副气囊9和主气囊12，两个分支管道上分别设置第一调节阀8和第二调节阀10；所述副气囊9通过带有第三调节阀11的管道连通至主气囊12，所述主气囊12通过管道连接至空气压缩机；所述氧含量检测仪7电路连接至控制器，所述控制器分别连接第一调节阀8、第二调节阀10和第三调节阀。

优选地，所述真空泵1至风机2的出口端保持正压。

优选地，所述控制器根据氧含量检测仪7的数值控制第一调节阀8和第二调节阀10的开关，氧含量检测仪7检测到含氧量≥1％时，第一调节阀8打开，第二调节阀10关闭；氧含量检测仪7检测到含氧量＜1％时，第一调节阀8关闭，第二调节阀10打开。

本实用新型产生的有益效果为：

(1)回收单晶硅拉晶炉排放的富氩尾气，不改变炉体控制系统，将排放的空气和富氩气全部回收，再经过提纯处理得到高纯氩气。

(2)单晶硅拉晶炉排放的富氩尾气含有大量的油和灰尘，采用H型管、旋风除尘器、油吸附剂、布袋除尘器的组合方式将油和灰尘彻底清除。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的结构原理示意图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。