[实用新型]一种硅片用清洗花篮有效
| 申请号： | 201721182630.0 | 申请日： | 2017-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN207149539U | 公开（公告）日： | 2018-03-27 |
| 发明（设计）人： | 刘俊稳;赵福祥;金起弘 | 申请（专利权）人： | 韩华新能源（启东）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司32103 | 代理人： | 孙仿卫,林传贵 |
| 地址： | 215221 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 清洗 花篮 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅片用清洗花篮，包括相对设置的两块侧板、连接所述侧板的横梁以及位于所述侧板底部的支撑杆，其特征在于：所述支撑杆的上部靠近硅片，所述支撑杆的下部远离所述硅片，所述支撑杆上部的宽度大于所述支撑杆下部的宽度；所述支撑杆横截面呈上部大、下部小的形状。
2.根据权利要求1所述的一种硅片用清洗花篮，其特征在于：所述支撑杆的横截面为水滴形。
3.根据权利要求1所述的一种硅片用清洗花篮，其特征在于：所述支撑杆与所述横梁平行设置。
4.根据权利要求1所述的一种硅片用清洗花篮，其特征在于：所述横梁对称地固定在所述侧板的两侧。
5.根据权利要求1所述的一种硅片用清洗花篮，其特征在于：所述横梁上均布有放置硅片的卡槽。
6.根据权利要求1所述的一种硅片用清洗花篮，其特征在于：所述横梁为4根。
7.根据权利要求1所述的一种硅片用清洗花篮，其特征在于：所述清洗花篮还包括用于防止所述硅片漂浮的压杆。
8.根据权利要求7所述的一种硅片用清洗花篮，其特征在于：所述侧板上还开设有固定压杆的压杆槽。
9.根据权利要求1所述的一种硅片用清洗花篮，其特征在于：所述清洗花篮的材质为耐腐蚀材料。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
