[实用新型]运载装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种运载装置，尤其涉及一种用以运载片状物的运载装置。

背景技术

一般易碎型片状物，例如半导体或光电产业所使用的晶圆、光罩、玻璃基板等，若要由甲地运送至乙地，必须避免片状物受到碰撞，否则容易产生碎裂。而且像是晶圆、光罩等容易因为微粒污染而影响品质的物品，还需要避免在运送过程中附着灰尘，因此包装该等物品通常不能使用纸类或泡棉类等容易产生细屑的缓冲材料。

以晶圆为例说明，目前业界常见用以装载多片晶圆的前开式晶圆容器(Front Opening Unified Pod,FOUP)通常包含一盒体及一可重置地盖合于盒体的盖体，两者共同形成一容置空间，并在盒体内设有承载组件用以承载多片晶圆，其中盖体的内侧设有固持组件，用以固持盒体内的晶圆。若晶圆为圆形，则固持组件可内嵌于盖体内侧板的凹陷部内而不需凸露出凹陷部之外，只要晶圆的凸弧状边缘可伸入凹陷部内至固持组件处就可被固持组件固持。然而，若欲承装的片状物为方形，如方形的硅晶片等，则会因为方形片状物不具有可伸至内嵌于盖体内侧板凹陷部内的固持组件处的凸弧状边缘，导致固持组件无法对该方形片状物进行固持。

实用新型内容

本实用新型提供一种运载装置，其盖体的固持组件可有效对盒体内的片状物进行固持。

本实用新型的运载装置适于容纳至少一片状物且包括一盒体及一盖体。盒体具有一开口，片状物适于通过开口而进入盒体的内部。盖体具有相对的一外侧板及一内侧板，且外侧板及内侧板间于该盖体覆盖该开口时系呈使外侧气体无法通过该盖体而进入该盒体内。盖体适于覆盖开口而使内侧板朝向盒体的内部。盖体在内侧板朝向盒体内部的一侧具有一固持组件，盖体具有一闩锁机构，闩锁机构包括一操作部，操作部适于由盖体的外侧进行操作，且操作部连接于固持组件。当盖体覆盖开口时，操作部适于旋转而使闩锁机构成为干涉于盒体的一闩锁状态，且适于旋转而使闩锁机构成为分离于盒体的一解锁状态。当操作部旋转而使闩锁机构成为闩锁状态时，操作部带动固持组件从盖体的内侧板往盒体的内部移动或凸伸而固持位于盒体内的片状物。当操作部旋转而使闩锁机构成为解锁状态时，通过操作部的带动或一复位组件的驱动而使固持组件往盖体的内侧板移动或收缩而收合于盖体。

在本实用新型的一实施例中，上述的盖体具有至少一推动件，推动件穿过内侧板而连接固持组件与操作部，操作部适于旋转而通过推动件带动固持组件。

在本实用新型的一实施例中，上述的内侧板的至少一侧设有一密封元件，以使内侧板的推动件穿过处的两侧维持气密。

在本实用新型的一实施例中，上述的推动件包括一杆部及一推动部，推动部抵靠于固持组件，杆部穿过内侧板而连接推动部与操作部。

在本实用新型的一实施例中，上述的推动部具有一斜面，推动部适于沿一推动方向移动而通过斜面推动固持组件沿一移动方向从盖体的内侧板往盒体的内部移动或凸伸，其中推动方向垂直于移动方向，斜面倾斜于推动方向及移动方向。

在本实用新型的一实施例中，上述的盖体在内侧板具有一连动机构，连动机构包括设于内侧板上的至少一连动杆，连动杆具有一枢接部，枢接部枢接于盖体的内侧板，且连动杆一端连接于固持组件，操作部适于旋转并通过第二端带动连动杆枢转，进而驱动固持组件动作。

在本实用新型的一实施例中，上述的盖体具有一连动机构，连动机构包括设于内侧板上的至少一连动杆，连动杆具有一枢接部，枢接部枢接于盖体的内侧板，且连动杆一端连接于固持组件，另一端则与推动件连接，操作部适于旋转并带动推动件推动连动杆枢转，进而驱动固持组件动作。

在本实用新型的一实施例中，上述的固持组件适于沿一移动方向从盖体的内侧板往盒体的内部移动或凸伸，连动杆沿一枢转轴线枢接于盖体的内侧板，枢转轴线垂直于移动方向。

在本实用新型的一实施例中，上述的操作部具有一斜面且适于旋转而通过斜面推动推动件，斜面倾斜于固持组件移动或凸伸的方向。

在本实用新型的一实施例中，上述的闩锁机构包括至少一插销，操作部连接插销，当盖体覆盖开口时，操作部适于旋转而带动插销从盖体的外缘突伸出以干涉于盒体，且适于旋转而带动插销移至盖体内以分离于盒体。

基于上述，在本实用新型的运载结构中，盖体上的闩锁机构除了用以使盖体闩锁或解锁于盒体，更可带动盖体的内侧板的固持组件往盒体的内部移动或凸伸。藉此，固持组件可有效地对盒体内的片状物进行固持。

为让本实用新型的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。

附图说明