[实用新型]一种用于检测基板的定位装置

权利要求书

1.一种用于检测基板的定位装置，用于固定基板及定位探针，其特征在于：包括用于放置基板的治具、设置在所述治具上并用于吸附固定所述基板的吸附结构以及设置在所述治具上的中间定位块，所述中间定位块上设有用于定位探针的针卡，所述治具上设有第一定位孔，所述中间定位块上设有用于与所述第一定位孔插接配合的治具定位针，所述针卡的定位部与所述基板上的PAD位重合或间隔设置。

2.如权利要求1所述的一种用于检测基板的定位装置，其特征在于：所述治具上设有用于基板定位的定位边框。

3.如权利要求1所述的一种用于检测基板的定位装置，其特征在于：所述吸附结构包括设置在所述治具的用于安装所述基板的安装面上的真空吸孔、以及设置在所述治具内侧的且与所述真空吸孔连通的真空气路，所述真空气路与真空设备连接。

4.如权利要求3所述的一种用于检测基板的定位装置，其特征在于：所述真空气路内还设有用于检测真空状态的真空传感器，所述治具上还设有报警元件，所述真空传感器与所述报警元件电性连接。

5.如权利要求3所述的一种用于检测基板的定位装置，其特征在于：所述真空吸孔处设有密封垫，所述治具上设有用于容纳所述密封垫的容纳槽。

6.如权利要求5所述的一种用于检测基板的定位装置，其特征在于：所述密封垫与所述容纳槽卡接配合。

7.如权利要求6所述的一种用于检测基板的定位装置，其特征在于：所述容纳槽的侧壁上设有卡槽，所述密封垫上设有与所述卡槽卡接配合的卡台。

8.如权利要求6所述的一种用于检测基板的定位装置，其特征在于：所述容纳槽的侧壁上设有环形凸台，所述密封垫上设有与所述环形凸台卡接配合的卡接槽。

9.如权利要求5所述的一种用于检测基板的定位装置，其特征在于：所述密封垫为环形密封垫。

10.如权利要求1所述的一种用于检测基板的定位装置，其特征在于：所述针卡上设有第二定位孔，所述中间定位块上设有用于与所述第二定位孔插接配合的针卡定位针。