[实用新型]一种低延迟脉冲、低串扰、高收集效率微通道板

权利要求书

1.一种低延迟脉冲、低串扰、高收集效率微通道板，包括若干个平行通道组成的二维阵列，其中，二维阵列的上端面镀有输入电极层，二维阵列的下端面镀有输出电极层；

其特征在于：每个通道包括开设在输入电极层的输入口以及开设在输出电极层的输出口；输入口与通道上端连通，输出口与通道下端连通；输入口自上而下逐渐减小，从而形成的微通道板的通道开口面积大于90％。

2.根据权利要求1所述的低延迟脉冲、低串扰、高收集效率微通道板，其特征在于：所述输入口为倒锥台形状。

3.根据权利要求2所述的低延迟脉冲、低串扰、高收集效率微通道板，其特征在于：当倒锥台的母线为直线时，所述母线的斜率为0.25～5.5。

4.根据权利要求2所述的低延迟脉冲、低串扰、高收集效率微通道板，其特征在于：当倒锥台的母线为曲线时，所述母线的曲率为0.5E5～4E5。

5.根据权利要求3或4所述的低延迟脉冲、低串扰、高收集效率微通道板，其特征在于：所述输入电极层表面以及若干个通道内壁均覆盖有具有高二次电子发射系数的二次电子发射薄膜。

6.根据权利要求5所述的低延迟脉冲、低串扰、高收集效率微通道板，其特征在于：二次电子发射薄膜为氧化铝或氧化镁或二氧化硅薄膜；二次电子发射薄膜厚度为1～200nm。

7.根据权利要求5所述的低延迟脉冲、低串扰、高收集效率微通道板，其特征在于：输入电极层和输出电极层的厚度均为通道直径的0.25～2倍。