[实用新型]一种具有过滤功能的电子真空泵

权利要求书

1.一种具有过滤功能的电子真空泵，包括电机分总成（2）、驱动环（10）、底板（11）、泵环（14）、上盖（15）、转子（12）以及旋片（13），所述电机分总成（2）包括法兰盘（21）、驱动电机（22）以及驱动电机轴（23），所述驱动电机轴（23）穿过法兰盘（21）与驱动环（10）过盈配合，所述驱动环（10）上放置转子（12），所述旋片（13）卡接在转子（12）上，所述底板（11）、泵环（14）以及上盖（15）通过泵室螺钉（17）紧固在一起并连接在法兰盘（21）上，在所述法兰盘（21）上设置有与泵环（14）内部腔室连通的进气通道（211）和出气通道（213），其特征在于：在所述法兰盘（21）的进气通道（211）处设置有用于过滤杂质的过滤单元。

2.根据权利要求1所述的具有过滤功能的电子真空泵，其特征在于：所述过滤单元由滤网（7）和滤网架（8）组成，所述滤网（7）通过滤网架（8）固定在法兰盘（21）的进气通道（211）位置。

3.根据权利要求2所述的具有过滤功能的电子真空泵，其特征在于：所述滤网架（8）呈矩形框状结构，所述滤网（7）的过虑部呈与滤网架（8）对应配合的矩形，所述滤网（7）与滤网架（8）通过注塑成型为一体结构，所述过滤单元整体呈矩形。

4.根据权利要求2所述的具有过滤功能的电子真空泵，其特征在于：在所述法兰盘（21）的端面设置有法兰密封垫（5），所述法兰盘（21）的端面设置有用于放置法兰密封垫（5）的仿形凸台（214），所述法兰密封垫（5）为整体式结构，其密封范围包括底板（11）与法兰盘（21）的接触面以及消音罩（18）与法兰盘（21）的接触面。

5.根据权利要求2所述的具有过滤功能的电子真空泵，其特征在于：在所述法兰盘（21）内设置有与进气通道（211）连通的气体缓冲腔（212），所述过滤单元设置在气体缓冲腔（212）内。

6.根据权利要求1所述的具有过滤功能的电子真空泵，其特征在于： 所述过滤单元为呈腰形的滤网（7），所述滤网（7）边缘部与底板（11）之间设置有密封圈（20）。

7.根据权利要求6所述的具有过滤功能的电子真空泵，其特征在于：在所述法兰盘（21）的端面设置有法兰密封垫（5），所述法兰盘（21）的端面设置有用于放置法兰密封垫（5）的凹槽（216）。

8.根据权利要求1所述的具有过滤功能的电子真空泵，其特征在于：在所述电子真空泵的上盖（15）外侧设置有用于削弱噪音的消音环（16）和消音罩（18），所述消音罩（18）通过消音罩螺钉（19）固定连接在法兰盘（21）上。