[实用新型]一种气柜控制系统

说明书

技术领域

本实用新型实施例涉及电气控制技术，尤其涉及一种气柜控制系统。

背景技术

在半导体制程中，需要为加工制备半导体的容器中持续稳定地供给所需气体，一般是通过气体供应系统进行供气操作的。

气柜为常用的气体供应系统，包括气瓶柜、气瓶、供气管路、气动阀门、盘面和气柜控制系统。气柜控制系统包括电源、可编程逻辑控制器(Programmable Logic Controller,PLC)、安全部件、电磁阀门组、继电器，其中的核心部件为PLC。

现有的非冗余PLC气柜控制系统，仅包括一套PLC，若在气柜供气过程中PLC停止运行，则导致气柜控制系统处于不受控制的状态，使生产受到影响，可靠性差。而采用两套以上相同PLC的硬件冗余PLC气柜控制系统，虽然能够解决上述问题，但对互为冗余的PLC中的CPU模块软、硬件型号要求相同或相应，构建系统成本较高。

发明内容

本实用新型实施例提供一种气柜控制系统，以提高控制系统的可靠性及降低控制系统成本。

本实用新型实施例提供了一种气柜控制系统，包括：

主PLC，用于在工作状态下执行供气控制功能；

辅PLC，与所述主PLC相连，用于在跟随运行状态下监测到所述主PLC故障，则从所述跟随运行状态切换到临时运行状态，且用于在所述临时运行状态下执行部分供气控制功能。

所述主PLC包括第一阀门控制单元，与电磁阀门组中的各个阀门相连，用于将阀门控制信号发送给各所述阀门，以控制各所述阀门的开关状态；

所述辅PLC包括：

故障检测单元，与所述主PLC相连，用于在所述跟随运行状态下监测到所述主PLC故障，则从所述跟随运行状态切换到所述临时运行状态；

指令采集端口，与所述主PLC的第一阀门控制单元相连，用于采集所述阀门控制信号，以确定各所述阀门的开关状态；

第二阀门控制单元，与所述电磁阀门组中的各个阀门相连，用于在所述跟随运行状态时，根据所述指令采集端口采集的所述阀门控制信号向各所述阀门发送阀门跟随控制信号，控制各所述阀门的开关状态；在切换到所述临时运行状态时保持各所述阀门开关状态不变。

所述主PLC还包括正常信号发送单元，用于在所述工作状态下向所述辅PLC发送正常信号；

所述辅PLC的故障检测单元，用于在无法接收到正常信号时，确定所述主PLC故障。

还包括信号分路模块，用于接收输入的安全信号，并分路成至少两路安全信号，由信号输出端输出；

所述主PLC还包括第一输入端，与所述信号分路模块的信号输出端相连，用于在所述工作状态下接收到安全信号时，所述第一阀门控制单元发送阀门关闭信号关闭各所述阀门；

所述辅PLC还包括第二输入端，与所述信号分路模块的信号输出端相连，用于在所述跟随运行状态及所述临时运行状态下接收到安全信号时，所述第二阀门控制单元发送阀门关闭信号关闭各所述阀门。

所述安全信号包括下述至少一种：紧急停止信号、火灾报警信号、高温开关信号和气体泄漏信号。

所述辅PLC还包括第一输出端，用于在切换到所述临时运行状态时产生所述主PLC的电源重启信号；

还包括电源重启模块，连接在主PLC和电源之间并与所述第一输出端相连，用于在接收到所述电源重启信号后重启所述主PLC电源。

本实用新型实施例提供的气柜控制系统，辅PLC可以在主PLC故障时执行部分供气控制功能，可以提供足够的主PLC故障处理时间，提高了控制系统的可靠性且系统配置简单，成本低。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图做一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例一提供的一种气柜控制系统示意图；

图2是本实用新型实施例二提供的一种气柜控制系统示意图；

图3是本实用新型实施例三提供的一种气柜控制系统示意图；

具体实施方式