[实用新型]壳体组件和干蚀刻机

权利要求书

1.一种壳体组件，用于干蚀刻机，其特征在于，所述壳体组件包括：

壳体，所述壳体形成有蚀刻腔室并包括有用于观察所述蚀刻腔室的透明观察区；和

靠近所述透明观察区设置在所述壳体的内表面上的挡片，所述挡片可以在第一位置和第二位置之间移动，当位于所述第一位置时所述挡片遮挡所述透明观察区，当位于所述第二位置时，至少部分所述透明观察区自所述挡片外露出。

2.如权利要求1所述的壳体组件，其特征在于，所述壳体包括非观察区，所述非观察区不透明且由抗蚀刻材料制成。

3.如权利要求1所述的壳体组件，其特征在于，所述壳体包括：

底板，垂直所述底板并沿所述底板向上延伸的侧壁和平行所述底板并与所述侧壁相交的上盖，

所述底板、所述侧壁和所述上盖合围形成所述蚀刻腔室，

所述透明观察区位于所述侧壁。

4.如权利要求1所述的壳体组件，其特征在于，所述透明观察区基本呈矩形并由透明材料制成，所述透明材料包括玻璃。

5.如权利要求1所述的壳体组件，其特征在于，所述挡片在所述第一位置和所述第二位置之间移动时，所述挡片的移动方向平行于所述透明观察区。

6.如权利要求1所述的壳体组件，其特征在于，所述挡片采用抗蚀刻材料制成。

7.如权利要求6所述的壳体组件，其特征在于，所述挡片包括陶瓷或附着Y2O3涂层的铝片。

8.如权利要求1所述的壳体组件，其特征在于，所述挡片位于所述第二位置时，所述透明观察区全部露出。

9.如权利要求1所述的壳体组件，其特征在于，所述壳体组件包括驱动装置，所述驱动装置设置在所述壳体内表面，所述驱动装置驱动所述挡片在所述第一位置和所述第二位置之间移动。

10.如权利要求9所述的壳体组件，其特征在于，所述驱动装置包括气缸，所述气缸包括活塞杆，所述挡片连接所述活塞杆的自由端。

11.如权利要求10所述的壳体组件，其特征在于，所述壳体组件包括驱动电路和控制面板，所述驱动电路连接所述驱动装置和所述控制面板，所述控制面板通过所述驱动电路控制所述驱动装置运作，所述控制面板设置在所述壳体的外表面。

12.一种干蚀刻机，用于蚀刻工件，其特征在于，所述干蚀刻机包括：

权利要求1至11任一项所述的壳体组件；和

设置在所述壳体组件内的蚀刻装置。