[实用新型]一种高效的风淋传递窗

说明书

本实用新型涉及一种传递窗，尤其是一种高效的风淋传递窗，包括自动平移门、风嘴、风机和过滤网；所述自动平移门安装在传递窗的两端，即传递窗的进口和出口，所述风嘴安装在传递窗的侧面和顶部，所述风机安装在传递窗的侧面，风机的进风口和出风口均装有过滤网。还包括隔板，所述隔板安装在传递窗的两侧，隔板上设有通孔，所述通孔阵列布置在隔板上。本实用新型提供的一种高效的风淋传递窗操作方便、保障资材安全、传递效率高，同时解决了返还资材载具的清洁，提升了资材传输的循环时间，减少了资材传输中可能的搬运事故。

技术领域

本实用新型涉及一种传递窗，尤其是一种高效的风淋传递窗。

背景技术

现有的风淋传动窗对于资材载具逆向传递后，载具有颗粒污染物问题存在，需要进一步清洁后才能投入。同时现有的风淋传动窗全部手动操作，对于员工操作不方便，需要多个动作并需要资材暂存台，易发生坠落风险，或导致资材损坏的不良问题。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提供一种安全性高、操作方便、传输效率高的一种高效的风淋传递窗，具体技术方案为：

一种高效的风淋传递窗，包括自动平移门、风嘴、风机和过滤网；所述自动平移门安装在传递窗的两端，即传递窗的进口和出口，所述风嘴安装在传递窗的侧面和顶部，所述风机安装在传递窗的侧面，风机的进风口和出风口均装有过滤网。

优选的，还包括隔板，所述隔板安装在传递窗的两侧，隔板上设有通孔，所述通孔阵列布置在隔板上。

优选的，所述传递窗每侧的隔板不少于两个，隔板对称安装在传递窗的两侧。

优选的，所述传递窗内还装有光栅。

优选的，所述风机的进风口装有初级过滤网，出风口装有高效过滤网。

优选的，所述传递窗的两端均装有急停开关，所述急停开关位于自动平移门的两侧。

优选的，所述传递窗的两端均装有脚踏开关，所述脚踏开关位于传递窗的两侧。

优选的，所述自动平移门为对开的两扇门，自动平移门上均装有玻璃。

优选的，所述传递窗的顶部装有十六个风嘴，两侧各装有八个风嘴。

传递窗整体使用SUS430，确保防尘防静电和坚固性。

传递窗内装有两层隔板，将传递窗格成三层，层高根据基板载具尺寸确定，提高传递效率，隔板上开有阵列的孔，保证风淋效果。

自动平移门配电动轨道实现门的自动开关，采用电子互锁确保不同时开启，使用方便、安全可靠。装有玻璃方便人员观察资材。

传递窗的两侧和两端均设置脚踏开关，避免搬运时手控制，方便操作，提高效率。

传递窗的两侧和两端均设有急停开关，提高安全性。

传递窗内装有光栅，光栅用于检测基板载具是否还在传递窗内，同时控制风淋和自动平移门的开关，防止发生事故。

风机采用超薄高静压型风机，具有体积小、风量大、噪音低等特性，配合顶部的十六个风嘴和两侧的八个风嘴实现高效风淋。风淋根据光栅的检测信号启动和关闭，实现对返还基板载具进行风淋清洗，避免异物质污染资材。

板式初级过滤网和高效过滤网实现大风量、高效率过滤，去除0.3um颗粒可达到99.99%。

与现有技术相比本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型提供的一种高效的风淋传递窗操作方便、保障资材安全、传递效率高，同时解决了返还资材载具的清洁，提升了资材传输的循环时间，减少了资材传输中可能的搬运事故。

附图说明