[实用新型]可均匀布气的进料管

权利要求书

1.可均匀布气的进料管，其特征在于：包括第一进料管和第二进料管，所述第一进料管和所述第二进料管通过三通以卡套形式连接，且所述第一进料管连接所述三通的左侧接口，所述第二进料管连接所述三通的右侧接口，所述三通下方的垂直接口连接进料口，所述进料口与所述三通以卡套形式连接，所述第一进料管和所述第二进料管上均布有出料孔，所述第一进料管和所述第二进料管远离所述三通的一端密封，所述三通连接所述第一进料管和所述第二进料管形成的形状与反应炉的内腔相适配。

2.根据权利要求1所述的可均匀布气的进料管，其特征在于：所述第一进料管和所述第二进料管远离所述三通的一端通过密封堵头进行密封。

3.根据权利要求1或2所述的可均匀布气的进料管，其特征在于：所述第一进料管和所述第二进料管均为平躺的J型，且相对设置，围成一个半封闭的长方框。

4.根据权利要求1所述的可均匀布气的进料管，其特征在于：所述第一进料管和所述第二进料管均为不锈钢管，所述不锈钢管外层设有防腐复合层。

5.根据权利要求4所述的可均匀布气的进料管，其特征在于：所述防腐复合层厚度为0.1～500微米。

6.根据权利要求5所述的可均匀布气的进料管，其特征在于：所述防腐复合层厚度为200～500微米。

7.根据权利要求4所述的可均匀布气的进料管，其特征在于：所述防腐复合层为TaN_x-Ta复合涂层，中间层为六方结构的TaN_x涂层，表层为α相的Ta涂层。

8.根据权利要求1所述的可均匀布气的进料管，其特征在于：所述出料孔孔径小于所述进料口口径，所述出料孔的数量＝进料口面积÷出料孔面积。

9.根据权利要求1所述的可均匀布气的进料管，其特征在于：所述第一进料管、所述第二进料管和所述出料口口径相同。