[实用新型]密封装置

说明书

本实用新型涉及密封装置。提供一种用以克服关于两个复杂密封表面之间密封的困难的密封装置，其包括具有被形成成与密封面的复杂几何形状匹配的周边边缘的密封件载体，以及从所述密封件载体的周边边缘延伸的密封件。

发明领域

本发明涉及一种密封装置，具体地一种用于在真空泵壳体和电子驱动器壳体之间密封的密封装置。

背景技术

涡轮分子泵（TMP）被用在诸如质谱仪和扫描电子显微镜的许多设备中，以实现设备正确地操作所需的低压力。

容纳操作涡轮分子泵马达和内部电子设备所需的电子驱动器的壳体能够定位成或者远离TMP罩壳，或者直接连接到TMP罩壳。随着电子电路变得更小，更多的TMP被制造成驱动器壳体直接连接到TMP罩壳。

为了保护被容纳在壳体内的驱动器电子设备免受来自周围环境的颗粒和湿气的影响，密封元件必须定位于驱动器将附接于其的涡轮分子泵罩壳的外表面部分与将附接于泵罩壳的所述外表面部分的电子驱动器壳体的内表面部分之间。

目前，用两种方式实现用以保护以防止颗粒和湿气的进入的密封。

第一种方法是使用密封泡沫，当将两个元件附接在一起时，所述密封泡沫被施加在泵罩壳和驱动器壳体之间。这初始地提供极好的密封，但如果需要移除驱动器壳体，例如以维修TMP，则当重新附接这两个元件时，在能够重新施加新泡沫之前，必须将泡沫残留物从驱动器壳体和TMP的表面完全移除。此外，如果在生产中施加了密封泡沫，则在时常已知其在运输中被损坏，从而形成进入驱动器壳体的泄漏路径。

第二种已知方法是在外TMP罩壳表面和/或内驱动器壳体表面中形成密封凹槽，以便接收密封件从而在这两个元件之间实现密封。然而，密封元件进入复杂的三维、非平面密封凹槽的定位是耗时的，并且需要高的技术水平以在不挤压或损坏该密封件的情况下实现正确的密封。而且，如果需要移除驱动器壳体，则该密封件必须被重新定位在凹槽中，从而为该过程增添相当多的时间。

发明内容

因此，本发明提供一种用于在真空泵（诸如涡轮分子泵）罩壳的非平面外表面部分和壳体的非平面内表面部分之间密封的密封装置，所述壳体将可移除地附接到该真空泵罩壳的所述外表面部分，所述密封装置包括密封件载体和密封件，所述密封件从密封件载体的周边延伸并连接到密封件载体的周边，所述密封件载体的周边被成形为与真空泵罩壳的外表面部分和壳体的内表面部分的非平面形状相符合。

通过使密封装置具有密封件载体，且所述密封件载体被成形为符合TMP罩壳以及电子驱动器壳体的内表面两者的通常复杂的三维、非平面表面相符合，能够重复地实现泵的这两部分之间的有效密封而没有与先前的密封方法相关联的问题。

附图说明

现在将参照附图进一步描述本发明的实施例，附图中：

图1说明性地示出根据本发明的密封装置；

图2说明性地示出根据本发明的实施例，抵靠驱动器壳体的内部非平面表面部分定位的密封装置；

图3说明性地示出涡轮分子泵的用于接收图2的抵靠驱动器壳体的内表面部分定位的密封装置的对应非平面表面部分。

具体实施方式

参考图1到3：

密封装置2包括密封件载体4，其至少在其周边边缘形成或成形成与驱动器壳体12的复杂三维非平面内表面部分44以及涡轮分子泵罩壳24的复杂三维非平面外表面部分46两者相符合或者匹配。