[实用新型]图案形成片及图案制造装置有效
| 申请号: | 201721112419.1 | 申请日: | 2017-08-31 |
| 公开(公告)号: | CN207882648U | 公开(公告)日: | 2018-09-18 |
| 发明(设计)人: | 大嶋英司 | 申请(专利权)人: | 康达智株式会社 |
| 主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00 |
| 代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 李德山;杜诚 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 图案形成 图案制造装置 激光投影仪 光学引擎 控制器 本实用新型 光固化层 光学路径 图案制造 中空结构 准确定位 材料层 激光束 片材料 透光片 涂敷 照射 图案 阻碍 | ||
1.一种用于形成图案的图案形成片,其适合于任意工件表面,所述图案形成片包括:
透光片材料层;以及
膏状光固化层,其被涂敷到所述透光片材料层并且包含光固化树脂,其中,包含在所述光固化层中的所述光固化树脂是如下树脂:当所述图案形成片经由所述光固化层粘附到所述工件表面并且用光束进行照射时,该树脂与所述工件表面的粘附力变得高于与所述透光片材料层的粘附力。
2.根据权利要求1所述的图案形成片,其中,所述光固化层还包含导电材料。
3.根据权利要求2所述的图案形成片,其中,所述导电材料包含选自由银、金、铜、铂、铅、锌、锡、铁、铝、钯和碳构成的组中的至少一种元素。
4.根据权利要求1所述的图案形成片,其中,所述光固化树脂是如下树脂:当不用光束进行照射时,该树脂与所述工件表面的粘附力低于与所述透光片材料层的粘附力。
5.根据权利要求1所述的图案形成片,其中,所述光固化树脂包括紫外线固化树脂。
6.根据权利要求1所述的图案形成片,其中,对于所述透光片材料层,选择如下材料:该材料与未固化的所述光固化层的粘附力高于与固化的所述光固化层的粘附力。
7.根据权利要求6所述的图案形成片,其中,所述透光片材料层包含选自由聚烯烃、聚丙烯、聚酰亚胺和聚对苯二甲酸乙二醇酯构成的组中的一种材料。
8.根据权利要求2所述的图案形成片,其中,对于所述透光片材料层,选择如下材料:该材料与未固化的所述光固化层的粘附力高于与固化的所述光固化层的粘附力。
9.根据权利要求1所述的图案形成片,其中,对于所述透光片材料层,选择如下材料:该材料与未固化的所述光固化层的粘附力高于与固化的所述光固化层的粘附力。
10.根据权利要求2所述的图案形成片,其中,包含在所述光固化层中的所述光固化树脂是如下树脂:当所述图案形成片经由所述光固化层粘附到所述工件表面并且用光束进行照射时,该树脂与所述工件表面的粘附力变得高于与所述透光片材料层的粘附力,
对于所述透光片材料层,选择如下材料:该材料与未固化的所述光固化层的粘附力高于与固化的所述光固化层的粘附力。
11.一种图案制造装置,包括:
形成单元,其被配置成通过用光束照射权利要求1中限定的图案形成片来形成图案。
12.根据权利要求11所述的装置,其中,所述形成单元包括如下元件作为光学引擎的:
壳体;
至少一个激光二极管,其被布置在所述壳体的一侧并发射激光束;
至少一个反射镜,其反射来自所述激光二极管的激光束;以及
驱动镜,其在沿竖直方向改变角度和沿水平方向改变角度的同时反射由所述反射镜反射的所述激光束。
13.根据权利要求11所述的装置,还包括:
加热所述图案形成片的加热器。
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