[实用新型]图案制造装置

说明书

本实用新型公开了一种图案制造装置。对图案形成光固化层进行加热，从而能够快速成型。图案制造装置(100)包括控制器(101)、激光投影仪(102)和加热器(103)。控制器(101)控制激光投影仪(102)在放置在台(140)上的图案形成片(130)上形成图案。激光投影仪(102)包括光学引擎(121)，并且控制器(101)控制激光投影仪(102)用来自光学引擎(121)的光束照射图案形成片(130)。加热器(103)对图案形成片(130)进行加热。

技术领域

本实用新型涉及图案制造装置。

背景技术

在上述技术领域中，专利文献1公开了一种用光照射形成有电路图案的光掩模并使电路图案显露在板上的技术。

[专利文献1]日本专利特开No.2002-194253

实用新型内容

在上述文献中描述的技术中，由于没有设置加热器，所以不可能加热图案形成光固化层，从而不能快速成型。

本实用新型能够提供一种解决上述问题的技术。

本实用新型的一个方面提供了一种图案制造装置，其包括：

形成单元，其通过用光束照射图案形成光固化层来形成图案；以及

加热器，其对图案形成光固化层进行加热。

本实用新型的另一方面提供了一种图案制造方法，其包括：

通过用光束照射图案形成光固化层来形成图案；以及

对图案形成光固化层进行加热。

本实用新型的另一方面提供了一种用于使计算机执行方法的图案制造程序，所述方法包括：

通过用光束照射图案形成光固化层来形成图案；以及

对图案形成光固化层进行加热。

根据本实用新型，可以对图案形成光固化层进行加热，从而能够快速成型。

附图说明

图1是用于说明根据本实用新型的第一示例性实施方式的图案制造装置的整体配置的概要的示意图；

图2A是示出通过根据本实用新型的第一示例性实施方式的图案制造装置进行的图案形成过程的概要的图；

图2B示出用于说明根据本实用新型的第一示例性实施方式的图案制造装置中使用的图案形成片的配置的平面图和侧面图；

图2C是用于说明根据本实用新型的第一示例性实施方式的图案制造装置中使用的图案形成片以及光束照射后图案形成片的粘附的图；

图2D是用于说明涂敷根据本实用新型的第一示例性实施方式的图案制造装置中使用的图案形成片的光固化层的方法的示例的图；

图3是用于说明根据本实用新型的第一示例性实施方式的图案制造装置的装置配置的示例的图；

图4A是用于说明在根据本实用新型的第一示例性实施方式的图案制造装置的光源单元中包括的光学引擎的配置的示例的图；

图4B是用于说明在根据本实用新型的第一示例性实施方式的图案制造装置的光源单元中包括的光学引擎的配置的另一示例的平面图；

图4C是用于说明在根据本实用新型的第一示例性实施方式的图案制造装置的光源单元中包括的光学引擎的配置的另一示例的透视图；

图5是示出包括根据本实用新型的第一示例性实施方式的图案制造装置的光学引擎的激光投影仪的配置的图；

图6是示出包括根据本实用新型的第一示例性实施方式的图案制造装置的光学引擎的激光投影仪的功能配置的框图；