[实用新型]一种用于精密仪器的钢结构基座有效

专利信息
申请号: 201721111275.8 申请日: 2017-08-31
公开(公告)号: CN207334113U 公开(公告)日: 2018-05-08
发明(设计)人: 何成伟 申请(专利权)人: 协伟集成电路设备(上海)有限公司
主分类号: F16M11/00 分类号: F16M11/00
代理公司: 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 代理人: 何葆芳
地址: 201614 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 精密仪器 钢结构 基座
【说明书】:

本实用新型公开了一种用于精密仪器的钢结构基座,其包括钢结构框体和多个钢结构支撑脚,每个钢结构支撑脚的顶端均与钢结构框体的底部采用可拆卸式固定连接。本实用新型所述的用于精密仪器的钢结构基座,具有制作工艺简单,安装和运输方便,制作成本低,对多管路安装环境适用性强,可有效避免泄漏液体腐蚀损坏等诸多优点,可满足任何复杂的安装现场的正常安装和使用,具有显著实用性和进步性。

技术领域

本实用新型是涉及一种钢结构基座,具体是涉及一种用于精密仪器的钢结构基座。

背景技术

钢结构基座,作为精密仪器的支撑基础和安装平台,其稳固性和平整度直接影响设备的工作精度,对投入生产后的产品质量、生产安全都有很大影响,特别是在半导体和光电等对生产设备的精密度要求极高行业中。故而对安装精度起到至关重要作用的钢结构基座具有明显的应用前景。

但现有的钢结构基座一般由四个主要部件组成:钢面板,上框,立柱和下框,采用的材料一般为型钢,方管,槽钢和钢板等,制作工艺一般是先对钢结构基座的上框和下框进行拼接焊接,然后利用型钢或者方管立柱,其中立柱垂直于上框的下表面和下框的上表面,进行上框与立柱和立柱与下框进行拼接焊接,在上下框和立柱拼接焊接后形成钢构框架结构,再将钢面板放置于上框框架的上表面,最后对钢面板和上框进行相对位置进行准确定位后进行焊接连接,成形后的钢结构基座如图1所示。现有的这种钢结构基座对于常规的安装环境是可行的,但是当安装环境过于复杂或者钢结构基座过大时就会出现下面的一些问题:1)在半导体厂和光电厂生产车间中,在设备下方会有很多用用于输送液体或气体的管路,而当安装环境中有很多管路时,图1所示的钢结构基座将无法避让,导致钢结构基座满足不了现场的环境要求;2)针对半导体厂和光电厂中的WET酸槽设备(英文名称:WetScrubber System/Wet bench),腐蚀性液体(比如硫酸液体)的泄漏情况时有发生,而图1所示的钢结构基座将会大面积受到被泄漏腐蚀性液体的腐蚀损坏,长时间会直接导致图1所示的钢结构基座的损坏,以致使位于钢结构基座上方的精密仪器的工作环境被破坏,直接导致产品破坏或产品合格率下降,造成巨大经济损失;3)当所需钢结构基座的外形尺寸过大时,运输时会受到局限和存在困难;因此,本领域啓需开发一种结构简单、安装便利、对多管路安装环境适用性强,可有效避免泄漏液体腐蚀损坏,及制作工艺简单,运输方便,制作成本低的用于精密仪器的钢结构基座。

发明内容

针对现有技术存在的上述问题和需求,本实用新型的目的是提供一种制作工艺简单,运输方便,制作成本低,对多管路安装环境适用性强,且可有效避免泄漏液体腐蚀损坏的用于精密仪器的钢结构基座。

为实现上述目的,本实用新型采用的技术方案如下:

一种用于精密仪器的钢结构基座,包括钢结构框体和多个钢结构支撑脚,每个钢结构支撑脚的顶端均与钢结构框体的底部采用可拆卸式固定连接。

一种实施方案,每个钢结构支撑脚的顶端与钢结构框体的底部均采用锁紧螺栓连接。

一种优选方案,在每个钢结构支撑脚的顶端与钢结构框体的底部之间均还设有用于调节钢结构框体高度和水平度的调节螺栓。

进一步优选方案,在每个钢结构支撑脚的顶端与钢结构框体的底部之间均设有2个调节螺栓,所述2个调节螺栓对称位于相应锁紧螺栓的两侧。

一种优选方案,在每个钢结构支撑脚的顶端与钢结构框体的底部之间均还设有垫板,所述垫板位于锁紧螺栓的正下方,并通过锁紧螺栓固定于钢结构框体的底部与钢结构支撑脚的顶端之间。

一种优选方案,每个钢结构支撑脚均由竖直设置的型钢或者槽钢与上下设置的顶板和底板焊接构成。

进一步优选方案,在构成每个钢结构支撑脚的底板上均设有用于与安装点地面固定连接的至少一个螺栓固定孔。

一种优选方案,所述钢结构框体由多根型钢或者槽钢焊接构成,用于与钢结构支撑脚的连接部为型钢或者槽钢的下槽壁。

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