[实用新型]一种新型阵列光电传感器光栅位移检测系统

权利要求书

1.一种新型阵列光电传感器光栅位移检测系统，其特征在于：包括平行光源(1)、增量式玻璃光栅尺(2)、光电传感器阵列(3)、信号处理单元(4)、位移显示单元(5)以及高速电压比较器(6)；其中，增量式玻璃光栅尺(2)垂直平行光源(1)的照射方向；光电传感器阵列(3)放置于该增量式玻璃光栅尺(2)光栅栅距内，并呈阶梯型均匀分布；高速电压比较器(6)连接于光电传感器阵列(3)和信号处理单元(4)之间，对光电传感器阵列(3)输出信号进行整形以及对整形得出的方波信号进行电平转换；所述信号处理单元(4)与位移显示单元(5)连接，将计算得到的位移值显示在位移显示单元(5)上。

2.根据权利要求1所述的一种新型阵列光电传感器光栅位移检测系统，其特征在于：所述光电传感器阵列(3)中光电传感器间的上下距离L＝(H-n*K)/(n-1),光电传感器间的错位距离D＝(W-M)/(n-1)；其中，H为光栅高度，n为光电传感器数量，K为光电传感器高度，W为栅距，M为光电传感器在增量式玻璃光栅尺(2)移动方向上的宽度。