[实用新型]基于离子束溅射沉积薄膜的面形可控保偏分色片有效
| 申请号： | 201721095133.7 | 申请日： | 2017-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN207281318U | 公开（公告）日： | 2018-04-27 |
| 发明（设计）人： | 马冲;陈刚;刘定权;李大琪 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 主分类号： | G02B1/115 | 分类号： | G02B1/115;G02B27/28 |
| 代理公司： | 上海沪慧律师事务所31311 | 代理人： | 李秀兰 |
| 地址： | 200083 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 离子束 溅射 沉积 薄膜 可控 分色 | ||
1.一种基于离子束溅射沉积薄膜的面形可控保偏分色片，包括基底(1)、保偏分色膜层(2)和增透膜层(3)，其特征在于：
所述的保偏分色片以石英为基底(1)，在基底一面镀制保偏分色膜层(2)，在基底的另一面镀制应力匹配的增透膜层(3)；
通过计算保偏分色膜层(2)中高、低折射率膜层的物理总厚度及比值，对所述增透膜层(3)进行应力匹配设计。
2.根据权利要求1所述的一种基于离子束溅射沉积薄膜的面形可控保偏分色片，其特征在于：
所述的面形可控保偏分色片的表面RMS值在0.1λ以内，λ的波长为632.8nm；采用离子束溅射沉积工艺的膜系结构在780±3nm波长处具有高效透射以及大消光比，在810±5nm波长处具有高效反射以及大消光比；其中：
所述的保偏分色膜层(2)的膜系结构为：
基底/1H 1L 1H 1L 2H 1L 1H 1L 1H 1L 2.419H.293L 2.419H 2.733L.473H.68L 2.696H.669L 3.14H 1.973L 2.603H 2.227L 1.782H 2.637L 2.352H.351L 3.156H.673L 2.373H 2.284L.91H.387L 1.755H.218L.477H.395L 2.484H 1.893L 1.075H 3.35L 3.261L 2.642H 2.119L 3.193H.75L 2.271H 2.341L 3.148H 1.139L.2H 1.611L/空气；
所述的背部应力匹配的增透膜层(3)的膜系结构为：
基底/2.016H 3.143L 2.071H 2.901L 2.37H 2.2L 3.468H 2.082L 2.044H 1.696L 1.845H 2.05L 1.659H 2.868L 1.822H 1.402L 2.387H 3.122L/空气；
膜系中:L表示光学厚度为λ0/4的SiO2膜层，H表示膜厚度为λ0/4的Ta2O5膜层，λ0为中心波长，其中保偏分色膜层(2)的λ0为790nm，增透膜层(3)的λ0为795nm；H、L前的数字为该膜层的厚度系数。
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