[实用新型]退火滴液循环系统

说明书

本实用新型公开了一种退火滴液循环系统，其包括：对键合线进行退火作业的滴液槽，其设置有进水管路，滴液槽的槽底设置有回水管，滴液槽设置有键合线通过通道，滴液槽的上方设置有位于键合线通过通道的滴液头；设置有液位标尺的水箱，其输出口接于水泵，水泵输出端接于滴液槽的进水管路，进水管路设置有带控制阀的进水泄压管，进水泄压管的输出端接于水箱，回水管的输出端接于水箱；位于水泵输出端的进水管路设置有并联的主过滤管路和备份过滤管路，主过滤管路可拆卸地安装有主过滤装置，备份过滤管路可拆卸地安装有备份过滤装置。本实用新型可以让退火循环系统处于工作状态下进行过滤装置的更换操作。

技术领域

本实用新型涉及键合线加工设备领域，尤其是涉及一种退火滴液循环系统。

背景技术

键合线属于半导体加工过程中的核心材料，而键合线加工需要进行退火作业，退火作业过程中的退火滴液需要进行循环利用，而反复使用的退火滴液中含有的杂质对于键合线而言是不可接受的，通常情况下，在循环系统中安装过滤装置来过滤掉杂质是常规手段，而过滤装置经过一段时间使用后需要进行更换，这就需要停机，如何让退火滴液循环系统在工作状态下进行更换作业是本实用新型所要解决的问题。

实用新型内容

本实用新型的目的就是为了解决上述问题，提供一种退火滴液循环系统，其可以让退火循环系统处于工作状态下进行过滤装置的更换操作。

为解决上述技术问题，本实用新型的实施方式提供了一种退火滴液循环系统，其包括：对键合线进行退火作业的滴液槽，其设置有进水管路，滴液槽的槽底设置有回水管，滴液槽设置有键合线通过通道，滴液槽的上方设置有位于键合线通过通道的滴液头；设置有液位标尺的水箱，其输出口接于水泵，水泵输出端接于滴液槽的进水管路，进水管路设置有带控制阀的进水泄压管，进水泄压管的输出端接于水箱，回水管的输出端接于水箱；位于水泵输出端的进水管路设置有并联的主过滤管路和备份过滤管路，主过滤管路可拆卸地安装有主过滤装置，备份过滤管路可拆卸地安装有备份过滤装置，主过滤管路安装有位于主过滤装置输入口、输出口的控制阀，备份过滤管路安装有位于备份过滤装置输入口、输出口的控制阀。

与现有技术相比，本实用新型提供的退火滴液循环系统在需要更换主过滤装置时，关闭主过滤装置前后的控制阀，同时开启备份过滤装置前后的控制阀，让备份过滤装置进行过滤作业，此时则可更换主过滤装置，从而实现在线更换作业。

进一步，水箱设置有带控制阀的排水口。

进一步，主过滤装置通过螺纹结构而可拆卸地安装于主过滤管路；

备份过滤装置通过螺纹结构而可拆卸地安装于备份过滤管路。

进一步，主过滤装置、备份过滤装置包括：

过滤盒体；

安装于过滤盒体内部的过滤网。

附图说明

图1为退火滴液循环系统示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施例，进一步阐述本实用新型。