[实用新型]一种组合传感器有效
| 申请号： | 201721084728.2 | 申请日： | 2017-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN207132921U | 公开（公告）日： | 2018-03-23 |
| 发明（设计）人： | 徐香菊;端木鲁玉;王德信 | 申请（专利权）人： | 歌尔科技有限公司 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司11257 | 代理人： | 张雪梅 |
| 地址： | 266100 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 组合 传感器 | ||
1.一种组合传感器，其特征在于，包括声学传感器和环境传感器，所述声学传感器的MEMS芯片包括膜片，所述膜片上包括通孔，所述通孔包括减压孔和与所述环境传感器相对应的降噪孔。
2.根据权利要求1所述的组合传感器，其特征在于，所述降噪孔孔径大于或小于或等于所述减压孔孔径。
3.根据权利要求1所述的组合传感器，其特征在于，所述降噪孔为多个，所述降噪孔的孔径尺寸为3-15um，所述降噪孔周向均匀地对称地分布在所述膜片上。
4.根据权利要求1所述的组合传感器，其特征在于，所述声学传感器包括MEMS声学传感器芯片和对该芯片的输出信号进行信号处理的声学传感器ASIC芯片。
5.根据权利要求4所述的组合传感器，其特征在于，所述声学传感器ASIC芯片还包括高通滤波器，起始频率设置为10-200Hz。
6.根据权利要求4所述的组合传感器，其特征在于，所述MEMS声学传感器芯片还包括高通滤波器，起始频率设置为10-200Hz。
7.根据权利要求1所述的组合传感器，其特征在于，所述环境传感器为压力、温度、湿度、气体和光学传感器的一种或几种。
8.一种组合传感器，其特征在于，包括声学传感器和环境传感器，所述声学传感器的MEMS芯片包括膜片，所述膜片上包括通孔，所述声学传感器还包括高通滤波器，起始频率设置为10-200Hz。
9.根据权利要求8所述的组合传感器，其特征在于，所述声学传感器包括MEMS声学传感器芯片和对该芯片的输出信号进行信号处理的声学传感器ASIC芯片，所述高通滤波器设置在所述MEMS声学传感器芯片或所述声学传感器ASIC芯片中。
10.根据权利要求8所述的组合传感器，其特征在于，所述环境传感器为压力、温度、湿度、气体和光学传感器的一种或几种。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于歌尔科技有限公司，未经歌尔科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201721084728.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种清洁机用齿轮组件
- 下一篇：车辆用变速器
