[实用新型]一种硅片生产用分片装置

权利要求书

1.一种硅片生产用分片装置，其特征在于：包括基座（4）、工作台（5）和支撑架（7），所述基座（4）上面设置有所述工作台（5），所述工作台（5）侧面设置有伺服电机（6），所述伺服电机（6）端部设置有坦克链（10），所述坦克链（10）侧面设置有滑轨（11），所述滑轨（11）上设置有所述支撑架（7），所述支撑架（7）中部设置有步进电机（14），所述步进电机（14）端部设置有传动链（12），所述传动链（12）端部设置有安装架（9），所述安装架（9）下面设置有滑槽（13），所述安装架（9）旁侧设置有位移传感器（8），所述安装架（9）内部设置有激光发生器（15），所述激光发生器（15）端部设置有激光发射管（16）。

2.根据权利要求1所述的一种硅片生产用分片装置，其特征在于：所述工作台（5）通过螺钉固定在所述基座（4）上面，所述伺服电机（6）通过螺钉固定在所述工作台（5）侧面，所述坦克链（10）与所述伺服电机（6）机械连接。

3.根据权利要求1所述的一种硅片生产用分片装置，其特征在于：所述滑轨（11）通过螺钉固定在所述基座（4）侧面，所述支撑架（7）与所述滑轨（11）滑动连接，所述步进电机（14）通过螺钉固定在所述支撑架（7）中部。

4.根据权利要求1所述的一种硅片生产用分片装置，其特征在于：所述传动链（12）与所述步进电机（14）机械连接，所述安装架（9）与所述滑槽（13）滑动连接，所述滑槽（13）通过螺钉固定在所述支撑架（7）上。

5.根据权利要求1所述的一种硅片生产用分片装置，其特征在于：所述位移传感器（8）通过卡槽固定在所述支撑架（7）上面，所述激光发生器（15）通过卡槽固定在所述安装架（9）内部，所述激光发射管（16）通过通过螺纹固定在所述激光发生器（15）端部。

6.根据权利要求1所述的一种硅片生产用分片装置，其特征在于：控制主机（1）的型号为PLC S7-200,所述控制主机（1）通过螺钉固定在所述基座（4）上面，显示屏（2）胶接在所述控制主机（1）表面，控制键盘（3）通过卡槽固定在所述控制主机（1）表面。

7.根据权利要求6所述的一种硅片生产用分片装置，其特征在于：所述控制主机（1）与所述伺服电机（6）、所述步进电机（14）、所述位移传感器（8）、所述激光发生器（15）、所述显示屏（2）和所述控制键盘（3）通过导线连接。