[实用新型]用于在线监控化学镀液稳定性的电位分析仪的自动添加装置有效

专利信息
申请号: 201721060650.0 申请日: 2017-08-23
公开(公告)号: CN207248808U 公开(公告)日: 2018-04-17
发明(设计)人: 王兴平;张代琼;邢洪滨 申请(专利权)人: 确信乐思化学(上海)有限公司
主分类号: G01N27/00 分类号: G01N27/00
代理公司: 上海天翔知识产权代理有限公司31224 代理人: 刘粉宝
地址: 201417 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 用于 在线 监控 化学 稳定性 电位 分析 自动 添加 装置
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及一种自动添加装置,具体地说,涉及一种用于在线监控化学镀液稳定性的电位分析仪的自动添加装置。

背景技术

众所周知,化学镀液远远不如电镀液稳定可控,电镀液可以用一年左右,而化学镀液易于老化分解的特点使其寿命很短,如化学镍正常寿命只有6MTOs,约连续使用2周,化学铜也只能连续使用一个月。频繁的排旧换新加重了废水处理和排放的成本与压力。电镀液的人工取样测试是每天一次,而化学镀液的人工取样分析测试是每小时一次。即使这样,仍有管理的不及时和不到位(如只能分析pH、主盐、还原剂,其它如络合剂、稳定剂、副产物等,在短短1小时内根本分析不完),导致异常频发,伴随的是大量工件的报废,更是给环境治理和成本控制雪上加霜。

镀液的稳定性是镀液pH、主盐、络合剂、稳定剂、还原剂、镀速、副产物浓度等综合作用的结果,在线24小时不间断的稳定性测试填补了化学镀精密管理的空白。

实用新型内容

为了克服现有技术中的上述缺陷,本实用新型提供了一种用于在线监控化学镀液稳定性的电位分析仪的自动添加装置。为了实现本实用新型的目的,本实用新型的技术方案如下:

本实用新型提供了一种用于在线监控化学镀液稳定性的电位分析仪的自动添加装置,该自动添加装置包括化学镀补充液储存桶(1)、定量加药器(4)、用于化学镀补充液储存桶(1)和定量加药器(4)之间流体连通的进液管(3)、补充液回流及排气管(6)以及用于定量加药器(4)和现场工作液辅槽(7)之间流体连通的定量加药管(5),所述自动添加装置成一直线排列。

在本实用新型的一优选实施方案中,自动添加装置的个数取决于镀液中待补充的化学镀补充液的种类。

在本实用新型的一优选实施方案中,进液管(3)上连有进液泵(17)。

在本实用新型的一优选实施方案中,定量加药器(4)内设置有液位计(22),用于实时检测定量加药器(4)中的液位信息。

本实用新型的自动添加装置具有以下优点:可以同时补充多种化学镀补充液,消除了人工添加化学镀补充液的不稳定性,从而一定程度上提高了涂层的稳定性,确保镀件品质的一致性;不需要频繁的排旧换新,降低了工人的劳动量,提高了工作效率,节约了成本;能使化学镀补充液添加量控制更为准确。

本实用新型的自动添加装置被包括在24小时不间断在线监测工作大槽稳定性的变化状况的电位分析仪中,进一步提高监测与添加补充液维护的时效性,减少实验室取样分析作业和人工添加补充液的不及时带来的镀液老化损失,其主要优点是:

(1)非破坏性测试,可直接安装于现场工作液,不用人为地取样进行稳定性测试,能随时及时地作添加补充,不用人工添加补充液,减轻作业者工作负荷,减少工人的危险化学接触时间,安全卫生;

(2)24小时不间断在线监测镀液在不同老化时期的稳定性,能随时及时地作添加补充,减少停线添加补充液保养的频率,保证生产的连续性和稳定性,使化学镀生产顺畅可控,延长镀液的品质和使用寿命,减少镀液的突发异常和废液排放量,节能减排,提升生产效率和品质;

(3)使化学镀液稳定性在一个更小的范围内波动,确保镀件品质的一致性。对于一些特殊精密的电子元件,如半导体芯片上的微观线路或模塑互连天线上的精密线路。镀液太稳定则因漏镀而断路;镀液活性太高,则因溢镀粘连而短路。本实用新型可以为化学镀液的稳定性的连续精密监管提供有力支持。

本实用新型利用化学镀液发生氧化还原化学反应的特点,利用参比电极和工作电极适时监控镀液在工作或待工过程中电位差的变化,将此电位差转换成稳定性变化,设定管控目标,低于目标则启动自动添加装置。

本实用新型利用电位分析仪在线监控化学镀液稳定性变化,如化学镀铜、银、镍等。

本实用新型的自动添加装置,可依目标管控值调整加药。

包括本实用新型的自动添加装置的电位分析仪不用人工操作,安全可行,时效性高,无时无刻随时随地掌控化学镀液稳定性的变化,为化学镀量产维护、节能减排、高端电子元件(如芯片、模塑互连精密线路)的精密线路等,提供可靠的量测及监控方法。

包括本实用新型的自动添加装置的电位分析仪可以应用于塑料、金属、半导体(硅)上的化学镀铜、镍等的工作液稳定性管理,从而减少镀液非正常报废,延长镀液使用寿命,减少高精密昂贵电子产品残次品(如半导体),节省人工和工时,稳定品质、提高生产效率。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图;

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