[实用新型]用于检测任意波长光学系统透射波前的干涉装置及其系统

权利要求书

1.一种用于检测任意波长光学系统的透射波前的干涉装置，用于对任意波长光学系统进行干涉成像，其特征在于，包括：

激光产生单元，用于产生至少两种波长的激光光源；

光源转换单元，用于将所述激光光源转换为点光源；

准直单元，将所述点光源准直形成平行光束；

标准镜，用于透射所述平行或汇聚光束的一部分照射到光学系统上，并反射所述平行或汇聚光束的另一部分形成参考光束；

反射单元，将经过所述光学系统的所述平行或汇聚光束的一部分反射形成测试光束；

分光单元，透射所述点光源并接收所述参考光束以及所述测试光束进行反射；

校正单元，对不同波长的光束的聚焦位置进行校正；以及

成像单元，接收所述分光单元反射的所述参考光束以及所述测试光束进行干涉成像。

2.根据权利要求1所述的用于检测任意波长光学系统的透射波前的干涉装置，其特征在于：

其中，所述激光产生单元包括至少两种激光器。

3.根据权利要求1所述的用于检测任意波长光学系统的透射波前的干涉装置，其特征在于：

其中，所述激光产生单元为调频激光器，该调频激光器用于产生至少两种不同波长的激光光源。

4.根据权利要求1所述的用于检测任意波长光学系统的透射波前的干涉装置，其特征在于：

其中，所述校正单元设置在所述分光单元与所述准直单元之间靠近所述分光单元处，用于补偿准直系统不同波长点光源位置并校正不同波长的参考光束和测试光束的聚焦位置。

5.根据权利要求1所述的用于检测任意波长光学系统的透射波前的干涉装置，其特征在于：

其中，所述校正单元设置在所述分光单元与所述成像单元之间靠近所述成像单元处，用于校正参考光束和测试光束的聚焦位置，并使不同波长光束的聚焦位置与点光源的产生位置形成共轭。

6.根据权利要求1所述的用于检测任意波长光学系统的透射波前的干涉装置，其特征在于：

其中，所述校正单元为两个，分别设置在所述分光单元与所述成像单元之间以及所述分光单元与所述光源转换单元之间，分别用于补偿准直系统不同波长点光源位置，并校正不同波长的参考光束和测试光束的聚焦位置。

7.根据权利要求1所述的用于检测任意波长光学系统的透射波前的干涉装置，其特征在于：

其中，所述校正单元包括正透镜与负透镜中的一至多种。

8.根据权利要求1所述的用于检测任意波长光学系统的透射波前的干涉装置，其特征在于：

其中，所述校正单元包括扩束组件与缩小组件的一至多种。

9.根据权利要求1所述的用于检测任意波长光学系统的透射波前的干涉装置，其特征在于：

其中，所述校正单元包括不同厚度平板的一至多种。

10.一种用于检测任意波长光学系统的透射波前的干涉系统，用于检测任意波长的光学系统的透射波前，其特征在于，包括：

干涉装置，产生至少两种的波长对任意波长的光学系统进行干涉成像；以及

计算终端，根据所述干涉装置的干涉成像计算所述波长的干涉系数进而得到所述任意波长的干涉波前，

其中，所述干涉装置为权利要求1～9中的干涉装置。