[实用新型]一种具有双头机械手的硅片空满篮互换设备

说明书

本实用新型提供一种具有双头机械手的硅片空满篮互换设备，包括底座、立柱、横梁、X向驱动机构、X向移动块、Z向移动机构、满篮取放机构、空篮取放机构和倒篮机构，底座上竖直设置立柱，立柱的上端水平设置横梁，横梁上设置X向驱动机构，X向驱动机构上设置X向移动块，X向移动块的前壁面上设置Z向移动机构，Z向移动机构上相对应设置满篮取放机构与空篮取放机构，满篮取放机构设置为可旋转90度，倒篮机构设置于底座上，倒篮机构可翻转90度，倒篮机构设置于靠近满篮取放机构的一侧。本实用新型采用该设备，能够实现硅片清洗完成后的一体化空满篮互换过程，保证生产效率，且使得整体空间占据较小，降低能耗，并可节约生产成本。

技术领域

本实用新型涉及硅片生产用辅助设备技术领域，尤其涉及一种具有双头机械手的硅片空满篮互换设备。

背景技术

在半导体器件生产中，因微量污染也会导致器件失效，故硅片须进行严格的清洗工艺。硅片清洗的目的在于清除其表面的污染杂质，包括有机污染和无机污染，有机污染包括光刻胶、有机溶剂残留物、合成蜡和人接触器件、工具、器皿带来的油脂或纤维，而无机污染包括重金属金、铜、铁、铬等，这些重金属不仅会严重影响少数载流子寿命和表面电导，而且会引起严重漏电。清除硅片上污物的方法通常包括物理清洗和化学清洗两种，在硅片清洗结束后，需对其进行快速整理收集以避免长时间暴露于环境中造成二次污染，同时，为保证硅片的批量生产效率，现有硅片插片机常设置硅片空满篮互换机械手辅助进行硅片清洗后的收集整理，以降低人工劳动强度，提高批量硅片的清洗效率。但是，现有的用于硅片清洗后的空满篮辅助机械手，其虽然能够保证空满篮的互换，缩短换装速度，然而在换装工艺中需要多个机械手相互配合，且空满篮传送机构较多，故使得所需能耗较多，占据空间较大，对于中小型企业而言，生产成本较高。

发明内容

本实用新型的主要目的在于解决现有技术中存在的问题，提供一种能够实现硅片清洗完成后的一体化空满篮互换过程，保证生产效率，且使得整体空间占据较小，降低能耗，并可节约生产成本的具有双头机械手的硅片空满篮互换设备。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种具有双头机械手的硅片空满篮互换设备，其中所述具有双头机械手的硅片空满篮互换设备包括底座、立柱、横梁、X向驱动机构、X向移动块、Z向移动机构、满篮取放机构、空篮取放机构和倒篮机构，所述底座上竖直设置所述立柱，所述立柱的上端水平设置所述横梁，所述横梁上设置所述X向驱动机构，所述 X向驱动机构上设置所述X向移动块，所述X向移动块的前壁面上设置所述Z向移动机构，所述Z向移动机构上相对应设置所述满篮取放机构与所述空篮取放机构，所述满篮取放机构设置为可旋转90度，所述倒篮机构设置于所述底座上，所述倒篮机构可翻转90度，且该倒篮机构设置于靠近所述满篮取放机构的一侧。

进一步地，所述满篮取放机构设置为包括安装座一、旋转气缸和气爪部分一，所述安装座一设置于所述Z向移动机构上，且该安装座一上设置所述旋转气缸，所述旋转气缸的下表面上设置所述气爪部分一。

进一步地，所述倒篮机构设置为包括放置座、辅助倒板、转轴和驱动电机，所述放置座设置于所述底座的上表面，所述放置座的横截面设置为呈U 型，且该放置座的左端设置连接部，所述连接部共轴线套设于所述转轴上，且该连接部的上表面竖直设置所述辅助倒板，所述辅助倒板的横截面设置为呈L型，所述转轴的一端通过联轴器连接所述驱动电机的电机轴的输出端，且该转轴的另一端通过固定座设置于所述底座上。

进一步地，所述空篮取放机构设置为包括安装座二和气爪部分二，所述安装座二设置于所述Z向移动机构上，且该安装座二上设置所述气爪部分二。

进一步地，所述气爪部分一与所述气爪部分二均设置为包括安装板、左夹爪、左气缸、右夹爪和右气缸，所述气爪部分一的安装板固定于所述旋转气缸的下表面，所述气爪部分二的安装板固定于所述安装座二上，所述安装板的下表面上相对应竖直设置所述左夹爪与所述右夹爪，所述左气缸的气缸活塞杆上连接所述左夹爪，所述右气缸的气缸活塞杆上连接所述右夹爪，且所述左气缸与所述右气缸相对应设置于所述安装板的下表面。