[实用新型]一种电磁吸收超材料

权利要求书

1.一种电磁吸收超材料，其上表面处于工作环境中，包括周期性谐振单元阵列(23)，其特征在于，所述电磁吸收超材料(2)上表面设有一层电介质复合薄膜(3)，该电介质复合薄膜(3)为多层不同材料的固态电介质层按不同厚度比例的叠加。

2.根据权利要求1所述的电磁吸收超材料，其特征在于，所述电介质复合薄膜(3)通过使用半导体薄膜工艺，在电磁吸收超材料表面沉积。

3.根据权利要求2所述的电磁吸收超材料，其特征在于，所述半导体薄膜工艺包括CVD、PVD或ALD。

4.根据权利要求1所述的电磁吸收超材料，其特征在于，所述电介质复合薄膜(3)对该电磁吸收超材料(2)的表面晶格共振位置和对SLR强度予以调制。

5.根据权利要求4所述的电磁吸收超材料，其特征在于，所述电介质复合薄膜(3)对该电磁吸收超材料(2)的强度调制包括使SLR的位置向短波处移动或者SLR强度减弱，为将所述电介质复合薄膜(3)的等效折射率设置为小于工作环境折射率。

6.根据权利要求4所述的电磁吸收超材料，其特征在于，所述电介质复合薄膜(3)对该电磁吸收超材料(2)的强度调制包括使SLR的位置向长波处移动或者SLR强度增强，为将所述电介质复合薄膜(3)的等效折射率设置为大于工作环境折射率。

7.根据权利要求5或6所述的电磁吸收超材料，其特征在于，所述电介质复合薄膜(3)的等效折射率n_eff为：

其中，N为电介质复合薄膜(3)的层数，ni为第i层介质折射率，hi为第i层介质厚度，h为复合膜总厚度。

8.根据权利要求5或6所述的电磁吸收超材料，其特征在于，所述电介质复合薄膜(3)的薄膜厚度或电介质复合薄膜(3)的等效折射率与工作环境折射率的差距与调制效果成正比，而与实现相同调制效果所需的膜厚成反比。

9.根据权利要求1所述的电磁吸收超材料，其特征在于，所述周期性谐振单元阵列(23)的谐振单元为基于LSPR或LC谐振的谐振单元。