[实用新型]一种高精度载台微调机构

权利要求书

1.一种高精度载台微调机构，其特征在于，包括：底板、调节板、载台定位板、中间固定块、若干波珠螺丝、加热板、载台以及若干千分尺装置，所述调节板设在所述底板上，所述载台定位板安装固定在所述调节板上，所述调节板中间开有沉孔，所述载台定位板中间对应所述沉孔开有通孔，所述中间固定块依次穿过所述沉孔、通孔安装固定在所述底板上，所述波珠螺丝设在所述中间固定块上，所述加热板安装固定在所述载台定位板上，所述载台安装固定在所述加热板上，所述千分尺装置安装固定在所述底板四个侧面。

2.根据权利要求1所述的高精度载台微调机构，其特征在于，所述千分尺装置包括安装固定在所述底板上的底座以及安装固定在所述底座上的千分尺，所述千分尺的头部与所述调节板的侧面接触。

3.根据权利要求1所述的高精度载台微调机构，其特征在于，所述波珠螺丝包括螺纹柱以及设于所述螺纹柱一端的万向珠，所述中间固定块上设有若干螺纹孔，所述波珠螺丝安装固定在所述螺纹孔上，所述万向珠朝下并与所述调节板接触。

4.根据权利要求1所述的高精度载台微调机构，其特征在于，所述千分尺装置的数量为6，所述底板对立的两侧面各设有两组千分尺装置，另外两侧面各设有一组千分尺装置。

5.根据权利要求1所述的高精度载台微调机构，其特征在于，所述波珠螺丝的数量为8颗。