[实用新型]涡轮分子泵减震器

说明书

本实用新型公开了一种涡轮分子泵减震器，包括法兰一、筒体一、不锈钢波纹管，橡胶填充物、筒体二及法兰二。本实用新型提供的涡轮分子泵减震器，其通过上下两个法兰分别与扫描电子显微镜样品室和涡轮分子泵密封联接，通过不锈钢波纹管和橡胶填充物的共同作用，可以有效防止涡轮分子泵在运转过程中产生的震动向扫描电子显微镜样品室传递。本实用新型在解决涡轮分子泵减震问题的同时又完成了涡轮分子泵的安装固定，极大地简化了装配过程的复杂性。

技术领域

本实用新型涉及一种减震器装置，具体是一种用于减少涡轮分子泵运转中产生的震动向扫描电子显微镜样品室传递的装置。

背景技术

电子显微镜的放大倍数高达几十万倍，样品的任何振动都会直接影响成像质量，这就要求摆放样品的样品台具有高稳定性的特点，但是为了多角度，多位置观察样品，现代电子显微镜样品台多为5轴悬臂设计，需要使用直线导轨，这些部件具有低阻尼特性，会产生微小振动。

扫描电子显微镜要求工作在真空环境下，需要使用涡轮分子泵持续工作，分子泵靠高速旋转的涡轮叶片获得真空，涡轮分子泵本身就会产生震动，如果在涡轮分子泵和扫描电子显微镜样品室之间没有减震装置，会严重影响成像质量。

目前的减振措施都存在减震效果不理想，安装复杂，成本高的问题。

发明内容

本实用新型针对现有技术中存在的上述不足，提供了一种涡轮分子泵减震器。

本实用新型是通过以下技术方案实现的。

一种涡轮分子泵减震器，包括法兰一、筒体一、不锈钢波纹管，橡胶填充物、筒体二及法兰二，其中：

法兰一，材料为316L不锈钢，所述法兰一与筒体一之间采用激光焊焊接成型；

筒体一，材料为316L不锈钢，所述筒体一与法兰一和不锈钢波纹管之间分别采用激光焊焊接成型；

不锈钢波纹管，材料为316L不锈钢，爆炸成形，壁厚0.25mm~0.35mm，所述不锈钢波纹管与筒体一和筒体二之间分别采用激光焊焊接成型；

橡胶填充物，材料为氟橡胶，与不锈钢波纹管采用一次性整体浇铸成型，紧密结合成为一个整体；

筒体二，材料为316L不锈钢，所述筒体二与法兰二和不锈钢波纹管之间分别采用激光焊焊接成型；

法兰二，材料为316L不锈钢，所述法兰二与筒体二之间采用激光焊焊接成型。

进一步地，所述橡胶填充物与不锈钢波纹管是采用一次性整体浇铸成型的。

进一步地，所述不锈钢波纹管与筒体一和筒体二之间分别采用激光焊焊接成型。

进一步地，所述法兰一与筒体一之间采用激光焊焊接成型。

进一步地，所述法兰二与筒体二之间采用激光焊焊接成型。

本实用新型提供的涡轮分子泵减震器，其通过上下两个法兰分别与扫描电子显微镜样品室和涡轮分子泵密封联接，通过不锈钢波纹管和橡胶填充物的共同作用，可以有效防止涡轮分子泵在运转过程中产生的震动向扫描电子显微镜样品室传递。

本实用新型在解决涡轮分子泵减震问题的同时又完成了涡轮分子泵的安装固定，极大地简化了装配过程的复杂性。

附图说明

图1是本实用新型的结构图；

图中：1为法兰一，2为筒体一，3为橡胶填充物，4为不锈钢波纹管，5为筒体二，6为法兰二。

具体实施方式