[实用新型]纳米马达及其驱动装置和控制装置

权利要求书

1.一种纳米马达，其特征在于：该纳米马达为两个粘结在一起的球体，所述球体的半个球面上蒸镀有粘附层金属和磁性金属，所述粘附层金属位于球体和磁性金属之间，所述球体均是蒸镀有粘附层金属和磁性金属的一面粘结在一起。

2.根据权利要求1所述的纳米马达，其特征在于：所述的粘附层金属为10nm厚，所述的磁性金属为15nm厚。

3.根据权利要求1所述的纳米马达，其特征在于：所述的粘附层金属为金属Cr或金属Ti，所述的磁性金属为磁性Ni、磁性Fe、磁性Co、Fe-Co合金、Fe-Ni合金、Co-Ni合金或者Fe-Co-Ni合金中的一种。

4.根据权利要求1所述的纳米马达，其特征在于：所述的球体为PS球、SiO₂球或PMMA球中的一种，所述纳米马达的直径为500nm～40μm。

5.一种纳米马达驱动装置，其特征在于：该纳米马达驱动装置包括含有去离子水的容器(1)、电磁线圈(2)、功率放大器(3)和函数发生器(4)，所述函数发生器(4)的输出端连接着功率放大器(3)的输入端，所述功率放大器(3)的输出端连接着电磁线圈(2)的输入端，所述电磁线圈(2)的输出端产生振荡磁场并驱动容器(1)内的纳米马达。

6.根据权利要求5所述的纳米马达驱动装置，其特征在于：所述的容器(1)为毛细管、硅基衬底上的空腔、玻璃衬底上空腔或PDMS衬底上空腔中的一种。

7.根据权利要求5所述的纳米马达驱动装置，其特征在于：所述的函数发生器(4)为产生方波信号或正弦波信号的函数发生器，所述的功率放大器(3)为低频功率放大器，所述的电磁线圈(2)产生的磁场强度为1～10mT。

8.一种纳米马达控制装置，其特征在于：该纳米马达控制装置包括含有去离子水的容器(1)、电磁线圈(2)、功率放大器(3)、函数发生器(4)和四相自复位开关(5)，所述函数发生器(4)的输出端连接着功率放大器(3)的输入端，所述功率放大器(3)的输出端连接着四相自复位开关(5)的输入端，所述四相自复位开关(5)的输出端连接着电磁线圈(2)的输入端，所述电磁线圈(2)有四个，所述的四个电磁线圈(2)均匀分布在容器(1)的上、下、左、右四端，所述电磁线圈(2)的输出端产生振荡磁场并驱动容器(1)内的纳米马达。

9.根据权利要求8所述的纳米马达控制装置，其特征在于：所述的容器(1)为毛细管、硅基衬底上的空腔、玻璃衬底上空腔或PDMS衬底上空腔中的一种。

10.根据权利要求8所述的纳米马达控制装置，其特征在于：所述的函数发生器(4)为产生方波信号或正弦波信号的函数发生器，所述的功率放大器(3)为低频功率放大器，所述的电磁线圈(2)产生的磁场强度为1～10mT。