[实用新型]一种模块化制造多用途卷绕式真空镀膜机

说明书

本实用新型公开提供一种模块化制造多用途卷绕式真空镀膜机,它包括至少两个真空卷绕镀膜系统单元，相邻的两个真空卷绕镀膜系统单元之间通过真空联结阀连接，待镀膜的卷料由所述真空联结阀穿过进入下一个空卷绕镀膜系统单元；所述真空卷绕镀膜系统单元包括有放卷室、镀膜室、热处理室及收卷室，四者均设有若干可用于张紧、传送待镀膜卷料、改变的待镀膜的卷料缠绕方向的卷轴，镀膜室设有镀膜榖，待镀膜的卷料在上一个真空卷绕镀膜系统单元中实现一面镀膜后因所述卷轴改变其缠绕方向在下一个真空卷绕镀膜系统单元实现另一面镀膜。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜、电容器薄膜制造及光电显示薄膜制造行业，针对柔性薄膜材料实现单/双面镀膜，尤其涉及一种模块化制造多用途卷绕式真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜是等离子技术应用的一种，即在真空环境下，使装有待镀材料的磁控溅射阴极启辉(电阻蒸发方式是通电加热膜料坩埚)，磁控阴极产生等离子体，高能离子轰击靶面(膜料)溅射出要镀膜料粒子，溅射出来的粒子沉积在被镀工件上形成单质膜、化合物膜等。

卷绕式真空镀膜技术广泛应用于电容器、触摸显示器、装饰包装材料等柔性材料的功能及装饰性薄膜制造领域。

常规的卷绕式真空镀膜设备所采用的卷绕机构多为单腔体或多腔体，对于单腔体设备，其结构特点为：a.包括一个密封真空容器(圆形或矩形腔体)；b.容器内用金属隔板隔离出1个放卷区、1个镀膜区、1个收卷区；c.具有设计紧凑、占地面积小、造价低等优点；d.缺点是各区域气氛隔离度差，工作中粉尘污染较多，生产膜系有限，产能低等。对于多腔体设备，其缺点是单镀膜主毂生产，生产膜系有限，产品品种单一，设备只能按工艺订制，制造成本较高等。

以上设备结构设计是目前常用的几种卷绕式真空镀膜设备方式，设备的设计制造都是在事先确定产品工艺的基础上须独立设计的专用设备，都只能镀制单面成膜产品，生产双面镀膜产品时，就需要将待镀膜(箔材)翻面二次加工，具有成品率低，生产效率低；生产简单膜系产品时，设备利用率低等缺陷。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对现有技术的缺陷和不足，提供一种模块化制造多用途卷绕式真空镀膜机，它针对柔性薄膜材料实现单/双面镀膜。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种模块化制造多用途卷绕式真空镀膜机,包括至少两个真空卷绕镀膜系统单元，相邻的两个真空卷绕镀膜系统单元之间通过真空联结阀连接，待镀膜的卷料由所述真空联结阀穿过进入下一个空卷绕镀膜系统单元；所述真空卷绕镀膜系统单元包括有放卷室、镀膜室、热处理室及收卷室，四者均设有若干可用于张紧、传送待镀膜卷料、改变的待镀膜的卷料缠绕方向的卷轴，镀膜室设有镀膜榖，待镀膜的卷料在上一个真空卷绕镀膜系统单元中实现一面镀膜后因所述卷轴改变其缠绕方向在下一个真空卷绕镀膜系统单元实现另一面镀膜。

优选的，所述真空卷绕镀膜系统单元还包括有控制镀膜工艺参数的PLC控制系统。

优选的，所述放卷室、镀膜室、热处理室及收卷室均由独立的抽真空设备进行抽真空，抽真空设备与所述PLC控制系统控制连接。

优选的，所述放卷室、镀膜室由独立的抽真空设备进行抽真空，热处理室及收卷室共用一组抽真空设备，所有抽真空设备均与所述PLC控制系统控制连接。

优选的，所述镀膜室设有多个磁控溅射靶，多个磁控溅射靶与所述PLC控制系统控制连接。

优选的，所述放卷室设有可拆卸的放卷辊，所述收卷室设有可拆卸的收卷辊。

优选的，所述热处理室设有若干加热装置，若干加热装置与所述PLC控制系统控制连接。

优选的，所述放卷室与所述收卷室为对称结构，两者可对调从而改变收卷或放卷的位置。

优选的，所述放卷辊及收卷辊与所述PLC控制系统控制连接。