[实用新型]一种蚀刻机盖体装置有效
| 申请号： | 201720978133.5 | 申请日： | 2017-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN207391552U | 公开（公告）日： | 2018-05-22 |
| 发明（设计）人： | 王卓;李云良;杨定宇;马铁宁 | 申请（专利权）人： | 上海利正卫星应用技术有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/08 | 分类号： | C23F1/08;C23F1/22 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 郭国中 |
| 地址： | 201108 上海市闵*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 机盖体 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种蚀刻机盖体装置，该盖体装置设于蚀刻机顶部，其特征在于，所述盖体装置由电机，以及安装在电机下方的多层圆盘结构，所述多层圆盘结构包括从下往上依次安装的最下方圆盘、中间圆盘和最上方圆盘，所述最下方圆盘为圆孔状结构，且相邻圆孔之间的距离为圆孔直径的3倍，圆孔按照一定的规律平行排列；所述中间圆盘为2个，采用圆孔状结构，孔的直径为最下层圆盘孔直径的10％-20％，且相邻圆孔之间的距离为圆孔直径的2倍，圆孔按照一定的规律平行排列，所述最上方圆盘为空心结构，且圆盘的下端由致密的丝网组成，丝网中设有改性活性炭，改性活性炭的粒度略微大于丝网的空隙直径。
2.如权利要求1所述的一种蚀刻机盖体装置，其特征在于，所述最下方圆盘的四角上均设有安装蚀刻板的卡具。
3.如权利要求1所述的一种蚀刻机盖体装置，其特征在于，所述电机安装在最上方圆盘的上方，转轴端从上往下依次安装有一个最上方圆盘、两个中间圆盘和一个最下方圆盘。
4.如权利要求1所述的一种蚀刻机盖体装置，其特征在于，所述电机连接有一控制平台，用于在镁合金腐蚀时，通过控制电机电机带动多层圆盘结构旋转。
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