[实用新型]一种多晶硅尾气淋洗塔

说明书

本实用新型提供一种多晶硅尾气淋洗塔，其包括淋洗塔塔体，塔体的中下部设有尾气进气口，塔体的顶部设有出气口，塔体的底部设有淋洗液排出口，其中，多根第一淋洗液喷淋管的出水端自上至下均匀分布于塔体中部，且每根第一淋洗液喷淋管的出水端均设置有多个喷淋头，以使得尾气经尾气进气口进入塔体内部后，自下而上依次经过多级喷淋处理，再从出气口输出。本实用新型所述多晶硅尾气淋洗塔能够减轻SiO2水解物堵塞后续淋洗设备及管道的危害。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅生产技术领域，具体涉及一种多晶硅尾气淋洗塔。

背景技术

在采用改良西门子法的多晶硅生产过程中，精馏工序及尾气回收、还原工序都会排放一定量的尾气，且尾气成份复杂，杂质含量较多。如果直接回收再利用则不利于产品质量的提升。

具体地，该尾气的主要成分有氮气、氢气、三氯氢硅、四氯化硅、硅烷等。其中三氯氢硅、四氯化硅、硅烷均为易水解的物质，水解产物为HCl、SiO2、H2，因此可采用淋洗法对尾气进行淋洗处理，而且在利用水对尾气进行淋洗处理时还会放出大量的热。

但是，发明人发现，在采用现有的淋洗塔及塔内喷头对尾气进行喷淋处理以水解三氯氢硅、四氯化硅及硅烷等气体时，由于塔内喷头的喷淋方式存在喷淋不均匀的缺陷，容易造成未淋洗彻底的尾气夹带水蒸气经由淋洗塔出气口进入后续淋洗设备，造成SiO2水解物堵塞后续淋洗设备及管道。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是针对现有技术中所存在的上述缺陷，提供一种能够减轻SiO2水解物堵塞后续淋洗设备及管道危害的多晶硅尾气淋洗塔。

解决本实用新型技术问题所采用的技术方案是：

本实用新型提供一种多晶硅尾气淋洗塔，其包括淋洗塔塔体，塔体的中下部设有尾气进气口，塔体的顶部设有出气口，塔体的底部设有淋洗液排出口，其中，多根第一淋洗液喷淋管的出水端自上至下均匀分布于塔体中部，且每根第一淋洗液喷淋管的出水端均设置有多个喷淋头，以使得尾气经尾气进气口进入塔体内部后，自下而上依次经过多级喷淋处理，再从出气口输出。

可选地，所述第一淋洗液喷淋管内流通的是循环淋洗液，具体为经淋洗塔的淋洗液排出口输出的经污水处理工序处理后返回至塔体内部的循环淋洗液。

可选地，所述塔体内、多根第一淋洗液喷淋管的出水端之上设置有筛板，至少一根第二淋洗液喷淋管的出水端设置在所述筛板之上，所述第二淋洗液喷淋管内流通的是新鲜水，且每根第二淋洗液喷淋管的出水端设置有多个喷淋头，以使得自下而上依次经过多级喷淋处理后的尾气在筛板处再次经过气液接触式喷淋处理，然后从出气口输出。

可选地，所述筛板呈圆形且水平布置，其四周端部固定在塔体内壁上；所述筛板采用耐高温玻璃钢板制成。

可选地，所述筛板上设置有多个均匀分布的通孔，且多个通孔的总面积为尾气进气口截面积的2～3倍。

可选地，所述筛板上的通孔为圆形通孔。

可选地，所述塔体内、尾气进气口处设置有环形分布腔结构，用于使经尾气进气口进入的尾气在环形分布腔内得到均匀分布后，再与塔内自上而下的淋洗液接触。

可选地，所述环形分布腔结构包括上下层叠布置且间隔一定距离的第一碗状件和第二碗状件，二者均两端开口以形成上口和下口，且二者上口的直径均大于各自下口的直径；第一碗状件的上口边缘固定在尾气进气口的顶端以及与顶端平齐的塔体内壁上，第二碗状件的上口边缘固定在尾气进气口的底端以及与底端平齐的塔体内壁上，从而构成环形分布腔。