[实用新型]可精确控制伸缩量的机械手及多管反应室上舟系统

权利要求书

1.一种可精确控制伸缩量的机械手，包括：连接手臂、活动连接在所述连接手臂上且沿其直线往复运动的活动手爪，其特征在于，所述连接手臂上安装有第一磁尺，所述第一磁尺的长度方向与所述活动手爪的运动方向相互平行，所述活动手爪上安装有第一磁性位移传感器，所述第一磁性位移传感器的检测端朝向所述第一磁尺；

所述活动手爪在连接手臂上往复运动时，所述第一磁性位移传感器的检测端沿所述第一磁尺的长度方向移动。

2.如权利要求1所述的机械手，其特征在于，所述连接手臂的底部设有第一滑轨，所述活动手爪的顶部固定有活动套在所述第一滑轨上的第一滑块，所述第一滑块连接有推动其运动的第一电动机构，所述第一磁尺安装在所述连接手臂的底部，所述第一磁性位移传感器安装在所述活动手爪的顶部。

3.如权利要求1或2所述的机械手，其特征在于，所述连接手臂活动连接在一固定手臂上，且沿所述固定手臂直线往复运动，所述固定手臂上安装有第二磁尺，所述第二磁尺的长度方向与所述连接手臂的运动方向相互平行，所述连接手臂上安装有第二磁性位移传感器，所述第二磁性位移传感器的检测端朝向所述第二磁尺；

所述连接手臂在固定手臂上往复运动时，所述第二磁性位移传感器的检测端沿所述第二磁尺的长度方向移动。

4.如权利要求3所述的机械手，其特征在于，所述固定手臂的底部设有第二滑轨，所述连接手臂的顶部固定有活动套在所述第二滑轨上的第二滑块，所述第二滑块连接有推动其运动的第二电动机构，所述固定手臂上还固定有位于所述连接手臂外侧的安装板，所述第二磁尺安装在所述安装板的内壁上，所述第二磁性位移传感器安装在所述连接手臂的一端。

5.如权利要求3所述的机械手，其特征在于，所述连接手臂的运动方向和活动手爪的运动方向相互平行。

6.一种具有如权利要求1至5任一项所述机械手的多管反应室上舟系统，包括：间隔设置的立柱和机架、由上至下排列在所述立柱上的暂存架、由上至下排列在所述机架上的推舟机构、设于所述推舟机构上的SIC桨、活动连接在所述立柱上且向机架水平伸出的机械手、推动所述机械手沿所述立柱升降运动的升降电动机构，所述机械手位于所述暂存架的一侧，所述机械手的活动手爪在所述SIC桨和暂存架之间水平伸缩运动。

7.如权利要求6所述的多管反应室上舟系统，其特征在于，所述SIC桨和暂存架之间还设有与所述立柱平行的升降通道，所述活动手爪在所述升降通道内升降运动。

8.如权利要求7所述的多管反应室上舟系统，其特征在于，还包括与所述机械手及升降电动机构连接的控制器，所述控制器调节所述机械手的高度位置，并通过磁性位移传感器控制活动手爪的水平伸缩距离。