[实用新型]靶材粘接用隔热保温装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及隔热装置技术领域，尤其涉及一种靶材粘接用隔热保温装置。

背景技术

镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在保护板上形成各种功能薄膜的溅射源。简单说的话，靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，用于高能激光设备中，不同功率密度、不同输出波形、不同波长的激光与不同的靶材相互作用时，会产生不同的溅射效应。例如：蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜、铝膜等。更换不同的靶材(如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等)，即可得到不同的膜系(如超硬、耐磨、防腐的合金膜等)。

通常企业在出售时出售的是靶材制品。靶材制品是将一长方形背板(固定在高能激光设备上)与靶材通过特定的粘接剂粘接在一起。而在粘接时，通常需要将背板的粘接面、靶材的粘接面及粘接剂通过加热装置(一般为一长方形加热平台，平台中部设有加热箱)加热到200℃左右才能达到良好的粘接效果。若直接将背板和靶材直接放置在加热装置上加热，背板、靶材与加热装置接触的一面则会由于温度太高而变形。若是背板变形，则影响固定在高能激光设备上时的固定效果；若是靶材变形，则严重影响客户在使用靶材制品溅射时的溅射效果，所以需要一个将背板与加热装置、将靶材与加热装置隔开的隔热装置。工厂在生产时通常采用耐高温薄膜，但是耐高温薄膜易变形，使用一次就需要更换，使用寿命短且成本高。

实用新型内容

为克服上述缺点，本实用新型的目的在于提供一种使用寿命长且成本低的靶材粘接用隔热保温装置。

为了达到以上目的，本实用新型采用的技术方案是：一种靶材粘接用隔热保温装置，包括长方形的面板，所述面板中部设有长方形内孔，所述面板包括相互挤压粘接成一体的中部层和位于所述中部层两侧表面的保护层，所述中部层为多晶莫来石纤维层，所述保护层为玻镁防火板，所述中部层与所述保护层之间粘接有碳纤维网格布。本实用新型通过采用多晶莫来石纤维层，热稳定性非常好，在空气中最高可承受1400℃以上的高温，热传导系数低，具有较好的保温隔热效果；通过采用玻镁防火板，玻镁防火板隔热耐高温性能好，在高温下不易碳化，保证了隔热板厚度损失小；通过采用碳纤维网格布，由于碳纤维是一种含碳量在95％以上的高强度、高模量纤维的新型纤维材料，在空气中最高可承受400℃的高温，所以粘接碳纤维网格布在中部层与保护层之间能起到基础支撑作用；通过采用长方形内孔，该内孔与加热平台的加热部分相匹配，留出加热位置；通过采用多晶莫来石纤维层、玻镁防火板、碳纤维网格布的结构，具有较好的隔热保温性能，且在空气中不易碳化，使用寿命久，与一次性耐高温薄膜相比成本更低，使用寿命更久。

优选地，所述中部层设有至少两层。本实用新型通过采用至少两层的中部层，随着层数的增加，保温隔热性能提高。

优选地，所述面板上表面粘接有特氟珑布。本实用新型通过采用特氟珑布，特氟珑是一种高分子化合物，化学性质稳定，最高可承受350℃的高温，具有良好的保温隔热性。

优选地，所述面板的四边均连有侧板。本实用新型通过采用侧板，能够将面板准确的固定在加热平台上，不会由于移动背板和靶材导致面板移动，以至于还需要人员去调整。

优选地，所述面板与每个所述侧板均通过阻尼铰链相连。本实用新型通过采用阻尼铰链，可拆卸地将面板和侧板相连接，当需要更换面板或侧板时，直接拆下面板即可，降低成本，在需要更换加热平台时也更便捷。

优选地，每个所述侧板下部均连有定位板。本实用新型通过采用定位板，在使用时将面板准确的固定在加热平台上，不会出现用向上的力即可将面板与加热平台分离的情况。

优选地，每个所述定位板与每个所述侧板均通过阻尼铰链相连。本实用新型通过采用阻尼铰链，可拆卸地将定位板与侧板相连，当需要更换侧板或定位板时，直接拆下即可，降低成本，在需要更换加热平台时也更便捷。

附图说明

图1为本实用新型的主视图；

图2为本实用新型的剖视图；

图3为本实用新型面板的结构示意图；

图4为本实用新型另一种实施例面板的结构示意图；

图5为本实用新型面板另一种实施例的主视图；

图6为本实用新型面板另一种实施例的剖视图；

图7为本实用新型面板另一种实施例面板的结构示意图。

图中：

1-面板；11-中部层；12-保护层；13-碳纤维网格布；14-特氟珑布；2-内孔；3-侧板；4-阻尼铰链；5-定位板；6-加热平台。

具体实施方式