[实用新型]具有气体回收机构的质谱检漏设备

说明书

技术领域

本实用新型涉及箱体密封性检测技术领域，尤其涉及一种具有气体回收机构的质谱检漏设备。

背景技术

质谱检漏技术已在科研和工业部门得到广泛应用，其主要优点是可在各种检测工况条件下实现泄漏率的定量检测，且其检漏分辨率高、测量范围广，特别适用于微小泄漏率的精确测定。为了节约检测成本，检漏后，需要对充入工件的示踪气体回收再利用，现有的设备和工艺在对示踪气体回收再利用过程中，存在着回收利用率和回收速度不可兼得的问题，因此，如何提供一种快速、高效率的示踪气体回收再利用设备是目前急需攻克的技术难题。

实用新型内容

本实用新型正是基于以上一个或多个问题，提供一种具有气体回收机构的质谱检漏设备，用以解决现有技术中回收利用率和回收速度不可兼得的问题。

本实用新型提供一种具有气体回收机构的质谱检漏设备，用于检测待测箱体的气密性，其包括：真空腔体、气体回收机构、示踪气体源及控制装置；所述真空腔体内设置有用于容纳所述待测箱体的容纳腔；所述气体回收机构包括回收气体通断阀、回收真空泵、低压罐及空压机，所述回收气体通断阀的输入端用于与所述待测箱体导通连接，所述回收气体通断阀的输出端与所述回收真空泵导通连接，所述低压罐与所述回收真空泵的输出端及所述空压机的输入端导通连接，所述空压机的输出端与所述示踪气体源导通连接；所述示踪气体源用于与所述待测箱体导通连接，以向所述待测箱体提供示踪气体；所述控制装置与所述回收气体通断阀、回收真空泵及空压机电连接，用于控制所述回收气体通断阀、回收真空泵及空压机工作。

综上所述，本实用新型的具有气体回收机构的质谱检漏设备，由于所述质谱检漏设备的所述气体回收机构包括回收气体通断阀、回收缓冲罐、回收真空泵、低压罐及空压机，所述回收气体通断阀的输入端用于与所述待测箱体导通连接，所述回收气体通断阀的输出端与所述回收缓冲罐及所述回收真空泵导通连接，所述回收缓冲罐与所述回收真空泵的输入端导通连接，所述低压罐与所述回收真空泵的输出端及所述空压机的输入端导通连接，所述空压机的输出端与所述示踪气体源导通连接。工作时，回收真空泵先将缓冲罐内的示踪气体抽至低压罐内，然后回收真空泵再将所述待测箱体内的示踪气体抽出，使所述示踪气体输送至所述缓冲罐及所述低压罐内，当所述低压罐内的气压到达预设值时，空压机将所述低压罐内的示踪气体抽至示踪气体源内。因此，其回收利用率高，回收速度快及效率高。

附图说明

图1是本实用新型的具有连接头的质谱检漏设备的结构示意图；

图2是本实用新型的支撑架、真空腔体及升降机构相互配合时的结构示意图；

图3是本实用新型上盖体的结构示意图；

图4是本实用新型下盖体的结构示意图；

图5是图2所示A区域的放大图；

图6是图2所示B区域的放大图；

图7是本实用新型的连接头的结构示意图；

图8是本实用新型的连接头的剖面图；

图9是本实用新型的连接头的爆炸图；

图10是本实用新型的部分结构与待测箱体配合时的连接结构示意图；

图11是本实用新型的部分结构与待测箱体配合时的连接结构示意图；

图12是本实用新型第二实施例的流程图；

图13是本实用新型第三实施例的流程图；

图14是本实用新型第四实施例的流程图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型进行详细说明。需要说明的是，如果不冲突，本实用新型实施例以及实施例中的各个特征可以相互结合，均在本实用新型的保护范围之内。

实施例一

请参阅图1、图10及图11，本实用新型提供一种具有气体回收机构的质谱检漏设备，用于检测待测箱体20a的气密性，所述待测箱体20a可以是变速箱、水箱或油箱等具有气密性要求的箱体。所述质谱检漏设备包括支撑架10、光栅传感器11、真空腔体20、升降机构30、分级抽气机构40、示踪气体源50、分级充气机构60、质谱检漏装置70、气体回收机构80及控制装置90。

请参阅图1及图6，所述支撑架10设置有沿着所述支撑架10的纵向延伸的第一导轨12和第二导轨13，所述第一导轨12的横截面呈工形。所述第二导轨13的横截面呈V形，所述第一导轨12和所述第二导轨13间隔设置。所述支撑架10形成有用于放置所述真空腔体20的容纳空间，所述支撑架10在位于所述容纳空间的外侧形成有放置口14。